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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>化工機(jī)械設(shè)備>泵閥類>其它泵閥設(shè)備> 瑞士VAT高真空蝶形控制閥61344-PEGN-0001

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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61344-PEGN-0001

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司2018年成立,現(xiàn)在整個市場有一批受眾用戶,因業(yè)務(wù)發(fā)展需要,所有的產(chǎn)品均從境外采購進(jìn)貨,您可以避免國內(nèi)合作商、辦事處和經(jīng)銷商的分級合作商,層層盤剝的模式,享受到價格低、貨期短,而且100%歐洲原裝*的采購服務(wù)。

對于一些德國產(chǎn)品,我們通過集中批量采購以獲取廠商較大折扣,可以提供比國內(nèi)市場價格更低的報價。

能夠提供不同國別、廠商的設(shè)備配件,解決您多處尋找的麻煩和對產(chǎn)品質(zhì)量的擔(dān)心等,在價格上我們有很大的優(yōu)勢,公司備有大量的現(xiàn)貨,是國內(nèi)庫存量Z多的公司之一,以更專業(yè)的服務(wù),把咨詢,銷售,售后服務(wù)一整套體系做的更完善,讓客戶能夠更放心的購買我們的產(chǎn)品,對我們的服務(wù)有更滿意的評價!

我們客戶遍及石化、化工、化纖、鋼鐵、食品、飲料、航空.制藥、采礦、電力、供水及環(huán)保等行業(yè)。

優(yōu)勢品牌主要有:

德國寶德BURKERT,德國BOSCH-REXROTH博世力士樂,德國FESTO費(fèi)斯托,

德國STEIMEL施*泵,德國HIRSCHMAN赫斯曼,德國HYDAC賀德克,

德國IFM易福門,德國TURCK圖爾克,德國MURR穆爾,德國HAWE哈威,

美國紐曼帝克,美國AB,美國FAIRCHILD仙童,美國DENISON丹尼遜,

德國P F倍加福,德國BALLUFF巴魯夫,德國SICK施克,德國E H,

意大利UNIVER氣動,意大利ATOS阿托斯,美國VICKERS威格士,

德國GSR閥,法國CROUZET高諾斯,德國PILZ皮爾茲繼電器,

德國SCHMERSAL施邁賽,德國SIEMENS西門子,美國ROSS閥,

美國MAC電磁閥,美國PARKER派克,美國MOOG穆格伺服閥,

美國派克電磁閥,美國威格士電磁閥,美國ASCO阿斯卡,

德國STAUFF西德福,德國NEGELE耐格,德國EMG伺服閥,

德國MAHLE馬勒,德國海隆HERION,英國諾冠NORGREN,

美國UE壓力開關(guān),美國MTS位移傳感器,

以及法國高諾斯繼電器,日本CKD,日本豐興,日本不二越,

日本大金,日本SUNX,日本黑田精工,日本東京美.日本SMC。

公司具有豐富的氣動工控液壓產(chǎn)品銷售經(jīng)驗(yàn),多年來與世界各國的較有名廠商相繼建立了良好的合作關(guān)系,所銷產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于國內(nèi)各工業(yè)領(lǐng)域,公司依仗品牌的優(yōu)勢,以靈活的經(jīng)營方式,多渠道,*地為客戶提供先進(jìn)的自動化產(chǎn)品。

在此歡迎來電垂詢,我們將竭誠為您服務(wù),客戶的滿意,就是我們的成功!

德國EPRO,EPRO傳感器,EPRO探頭,EPRO模塊,PR6424,PR6426,PR9268,PR9350,MMS6000

應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61344-PEGN-0001

1. 產(chǎn)品概述

  • 型號:61344-PEGN-0001

  • 類型:氣動高真空蝶形調(diào)節(jié)閥(金屬密封,快響應(yīng)型)

  • 品牌:VAT Group(瑞士真空閥門技術(shù))

  • 核心特點(diǎn):超高真空兼容性、耐等離子體腐蝕、毫秒級響應(yīng)

  • 適用領(lǐng)域:半導(dǎo)體刻蝕/ALD、光伏鍍膜、科研真空系統(tǒng)


2. 關(guān)鍵參數(shù)

參數(shù)技術(shù)指標(biāo)
真空范圍10?1? mbar ~ 大氣壓(XHV級)
漏率<5×10?1? mbar·l/s(金屬密封版)
閥體材質(zhì)316L不銹鋼(電解拋光,Ra≤0.5μm)
蝶板材質(zhì)鈦合金鍍Al?O?(抗等離子體腐蝕)
密封類型全金屬密封(金包覆Inconel)
驅(qū)動方式雙作用氣動(可選電動執(zhí)行器)
響應(yīng)時間<30 ms(全開至全關(guān))
溫度范圍-20°C ~ +250°C(烘烤兼容)
法蘭標(biāo)準(zhǔn)ISO-KF/DN40~160、CF 2.75"~8"
控制信號4-20mA/PROFIBUS DP(可選)

3. 核心技術(shù)亮點(diǎn)

① 等離子體防護(hù)設(shè)計

  • Al?O?鍍層蝶板可耐受Cl?/HBr/SF?等離子體侵蝕

  • 特殊流道設(shè)計減少顆粒生成(符合SEMI F47標(biāo)準(zhǔn))

② 超快動態(tài)響應(yīng)

  • 優(yōu)化氣路設(shè)計實(shí)現(xiàn)<30ms開關(guān)速度

  • 適用于ALD設(shè)備的脈沖式氣體控制

③ 智能控制系統(tǒng)

  • 集成高精度位置傳感器(分辨率0.1%)

  • 可選數(shù)字通信接口(支持遠(yuǎn)程監(jiān)控)


4. 半導(dǎo)體行業(yè)典型應(yīng)用

設(shè)備類型功能角色特殊要求
原子層沉積(ALD)前驅(qū)體氣體脈沖控制響應(yīng)時間<50ms
等離子刻蝕(Etch)腐蝕性氣體隔離Al?O?鍍層+雙密封
離子注入機(jī)束線真空分段控制無磁化設(shè)計(鈦合金材質(zhì))
EUV光刻機(jī)真空維持與顆??刂?/td>超潔凈版本(特殊表面處理)

5. 安裝與維護(hù)指南

安裝規(guī)范

  1. 使用激光對中儀確保閥體安裝偏差<0.05mm

  2. 氣路需配置0.1μm過濾器(VAT P/N: FLT-100M)

  3. 使用前進(jìn)行10次空載循環(huán)測試

維護(hù)計劃

  • 每季度:密封面清潔(使用VAT專用清潔劑)

  • 每50萬次循環(huán):更換驅(qū)動機(jī)構(gòu)潤滑脂

  • 每2年:氦質(zhì)譜檢漏測試(建議原廠校準(zhǔn))


6. 同系列型號對比

特性61344-PEGN-000161340-PACX-000161332-KEAF-0001
響應(yīng)速度<30 ms<50 ms<100 ms
耐溫性+250°C+200°C+150°C
密封類型金屬+二次密封金屬密封金屬密封
典型應(yīng)用EUV/ALD刻蝕設(shè)備通用真空系統(tǒng)

行業(yè)認(rèn)證

  • SEMI F47(電壓暫降免疫)

  • CE/UL/ROHS認(rèn)證

  • ISO 14644-1 Class 4潔凈度

  • 商品編號61346-PAAK-0001

  • 商品編號61334-KAAH-0001

  • 商品編號61340-PACQ-0001

  • 商品編號61336-PEAH-0001

  • 商品編號61340-PEAH-0001

  • 商品編號61344-PEAQ-0001

  • 商品編號61346-PEGF-0001

  • 商品編號61328-KECQ-0001

  • 商品編號61332-KEGE-0001

  • 商品編號61348-PECF-0001

  • 商品編號61332-KECF-0001

  • 商品編號61350-PACE-0001

  • 商品編號61346-PECH-0001

  • 商品編號61346-PEM1-0001

  • 商品編號61336-PEGQ-0001

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61344-PEGN-0001



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