1179A mks流量計 流量控制器

1179A是一款純模擬量控制的氣體流量控制器控制器

MKS 1179A是一款通用型彈性密封的質量流量控制器，由美國MKS Instruments公司生產(chǎn)。以下是其詳細介紹：

• 技術參數(shù)：全量程包括10SCCM、20SCCM、50SCCM、100SCCM、200SCCM、500SCCM、1000SCCM、2000SCCM、5000SCCM、10000SCCM、20000SCCM?？刂屏砍虨槿砍痰?%至99%，測量精度為全量程的1%，靈敏度為全量程的0.1%。熱機時間小于2分鐘，響應速度小于2秒。輸入電壓為±15VDC@100ma，輸出電壓為0-5VDC。

• 接口與材質：連接器有模擬（9Pin或15Pin或20Pin Card edge）和數(shù)字（RS485或Device net或Profibus）兩種類型。法蘭接口包括Swagelok 4VCR、Swagelok4 VCO、Swage 1/4”等。材質為316不銹鋼。

• 特點與應用：具有數(shù)字和模擬兩種模式，標準的3英寸底座使它能夠直接進行安裝而無需改變現(xiàn)有的氣體管道?？稍诙喾N應用場合測量和控制氣體的流量，特別是可重復性要求高的場合，配上合適的壓力控制器，還可以作為壓力控制器使用。