MC-7000 西北銷售日本LINTEC林泰克 質(zhì)量流量控制器
- 公司名稱 北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 MC-7000
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/7/24 11:27:06
- 訪問次數(shù) 44
聯(lián)系方式:周生15510102388 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
---|
通過使用熱傳感器,實(shí)現(xiàn)100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥,可實(shí)現(xiàn)腐蝕性氣體的超高速流量控制。
流量精度可達(dá)到±1.0%S.P.,數(shù)字通信方式可選擇DeviceNet或EtherC
產(chǎn)品特點(diǎn)
超高速流量控制200msec
精度±1%S.P.
使用溫度5~50℃
金屬密封材
無塵(粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控)
周圍溫度補(bǔ)償傳感器
支持EtherCAT通訊方式
支持DeviceNet™通訊方式
西北銷售日本LINTEC林泰克 質(zhì)量流量控制器 MC-7000
西北銷售日本LINTEC林泰克 質(zhì)量流量控制器 MC-7000
超高速流量制御


使用范例
快速刻蝕工藝
在半導(dǎo)體制造工藝中,在微細(xì)化的同時(shí)還需要提高產(chǎn)量。對于控制反應(yīng)氣體流量的質(zhì)量流量控制器來說,縮短流量控制開始(啟動(dòng))時(shí)間的需求日益增加。超高速質(zhì)量流量控制器【MC-7000】因?yàn)槭褂昧朔墙佑|式熱式流量傳感器,流量傳感器與流量測量氣體不接觸,可實(shí)現(xiàn)200msec的超高速響應(yīng)。同時(shí),因?yàn)榉墙佑|式的特點(diǎn),該流量控制器可用于測量腐蝕性氣體。
產(chǎn)品規(guī)格表
溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 |
5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 20SLM | Au |