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日本MITUTOYO小型?高精度掃描探針 SP25M
- 公司名稱 成都藤田光學(xué)儀器有限公司
- 品牌 MITUTOYO/日本三豐
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/7/26 17:42:24
- 訪問(wèn)次數(shù) 28
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日本HOYA豪雅(UV固化燈,玻璃鏡片),日本MUSASHI武藏(點(diǎn)膠機(jī)),日本KANOMAX加野(粒子計(jì)數(shù)風(fēng)速儀),日本FLUORO福樂(lè)(用于晶圓的搬 運(yùn)),日本AND艾安得(電子天平)
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 龍門式 |
---|---|---|---|
工作方式 | 垂直式 | 工作原理 | 自動(dòng)型 |
價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本MITUTOYO小型?高精度掃描探針 SP25M
日本MITUTOYO小型?高精度掃描探針 SP25M
1. 微型化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
SP25M采用革命性的三級(jí)減震架構(gòu):(1)陶瓷基座內(nèi)置空氣阻尼器,衰減環(huán)境振動(dòng)達(dá)90%;(2)鈦合金探針臂重量?jī)H0.8g,較傳統(tǒng)鋼制結(jié)構(gòu)減輕65%;(3)納米級(jí)預(yù)緊力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),通過(guò)0.01N·m扭矩螺絲實(shí)現(xiàn)測(cè)針夾持微調(diào)。這種設(shè)計(jì)使探頭整體尺寸控制在Φ3.2×15mm,為目前同精度等級(jí)最小體積。
2. 納米級(jí)測(cè)量系統(tǒng)
核心測(cè)量模塊包含:
光學(xué)編碼器:采用衍射光柵技術(shù),分辨率達(dá)0.5nm
電容式位移傳感器:帶寬1kHz,響應(yīng)時(shí)間<0.5ms
溫度補(bǔ)償單元:內(nèi)置4個(gè)PT100傳感器,實(shí)時(shí)修正熱變形誤差
測(cè)試數(shù)據(jù)顯示,在ISO Class 4潔凈環(huán)境下,對(duì)硅晶圓標(biāo)準(zhǔn)片進(jìn)行100次重復(fù)測(cè)量,Z軸標(biāo)準(zhǔn)偏差僅為1.2nm(依據(jù)ISO 4287標(biāo)準(zhǔn))。
3. 工業(yè)應(yīng)用驗(yàn)證
在豐田汽車噴油嘴檢測(cè)項(xiàng)目中:
測(cè)量對(duì)象:Φ0.12mm微孔內(nèi)壁粗糙度
對(duì)比設(shè)備:傳統(tǒng)接觸式輪廓儀
SP25M優(yōu)勢(shì):
測(cè)量時(shí)間縮短40%(單孔3分鐘→1.8分鐘)
數(shù)據(jù)完整性提升(可獲取傳統(tǒng)設(shè)備無(wú)法觸及的底部30%區(qū)域)
劃傷率降至0.1%以下
4. 系統(tǒng)集成方案
通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化接口(符合ISO 9409-1)可快速對(duì)接:
三豐CV-3200輪廓儀(需選配MNT-20適配器)
蔡司O-INSPECT多傳感器測(cè)量機(jī)
基恩士VHX-6000數(shù)字顯微鏡
典型配置包含:
SP25M探頭本體 ×1 R0.1μm金剛石測(cè)針 ×3 校準(zhǔn)證書(JIS B 7506) ×1 防震運(yùn)輸箱(IP67) ×1
5. 維護(hù)保養(yǎng)規(guī)范
日常維護(hù):每周用超純乙醇清潔測(cè)針接觸面
周期校準(zhǔn):建議每500小時(shí)或溫度變化>5℃時(shí)進(jìn)行
壽命指標(biāo):
測(cè)針:50萬(wàn)次接觸(R0.1μm規(guī)格)
傳感器:≥3年(基于加速老化試驗(yàn))
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