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CRX-6.5K 無液氦低溫探針臺(tái)/4寸

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CRX-6.5KLake Shore低溫探針臺(tái)

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上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家專業(yè)的微納材料、半導(dǎo)體和微電子材料及器件研發(fā)儀器及設(shè)備的供應(yīng)商,所銷售的儀器設(shè)備廣泛用于高校、研究所、以及半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域的高科技企業(yè)。目前總部在上海,香港、南通、深圳、北京分別設(shè)立分公司和辦事處,快速響應(yīng)客戶需求。同時(shí)上海麥科威在快速擴(kuò)展海外市場,并設(shè)立新加坡分公司,輻射東南亞市場。

      上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司主要銷售產(chǎn)品包括:  - 霍爾效應(yīng)測試儀;  - 快速退火爐;  - 回流焊爐,共晶爐,釬焊爐,真空燒結(jié)爐;  - 電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī),熱蒸發(fā)鍍膜機(jī);  - 探針臺(tái),低溫探針臺(tái),微探針臺(tái);  - 金剛石劃片機(jī); - 球焊機(jī),鍥焊機(jī);  - 磁控濺射鍍膜機(jī);  - 原子層沉積系統(tǒng),等離子增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備;  - 電化學(xué)C-V剖面濃度分析儀(ECV Profiler); - 掃描開爾文探針系統(tǒng); - 光學(xué)膜厚儀; -貼片機(jī)-PECVD\CVD;-脈沖激光沉積系統(tǒng)-PLD-納米壓印;-等離子清洗機(jī)、去膠機(jī);-反應(yīng)離子刻蝕RIE; - 光刻機(jī)、無掩膜光刻機(jī); - 勻膠機(jī); - 熱板,烤膠板; -少子壽命、太陽能模擬器;-NMR-瞬態(tài)能譜儀-外延沉積-等離子清洗機(jī)-離子注入-劃片機(jī)、裂片機(jī)光刻機(jī)(針尖/電子束光刻機(jī)EBL,紫外光刻機(jī),激光直寫光刻機(jī)),鍍膜機(jī)(磁控濺射機(jī),電子束蒸發(fā)機(jī),化學(xué)沉積機(jī),微波等離子沉積機(jī),原子層沉積機(jī)  等等…

企業(yè)客戶:華為技術(shù)有限公司, 深圳市鵬芯微集成電路制造, 深圳清力技術(shù), 安徽格恩半導(dǎo)體, 蘇州稀晶半導(dǎo)體科技, 矽品半導(dǎo)體, 廈門海辰新能源科科, 中核同創(chuàng)(成都)科技, 洛瑪瑞芯片技術(shù)(常州),偉創(chuàng)力科技, 奧普科星河北科技,廣東五星太陽能,廣東萬和集團(tuán),西安西測股份, 普源精電科技, 普源精電科技股份, 上海蔚來汽車, 北京華脈泰科, 廣醫(yī)東金灣高景太陽能科技, 深圳匯佳成電子, 深圳市化訊半導(dǎo)體材料, 珠海珍迎機(jī)電, 合肥鼎材科技, 山東金晶節(jié)能玻璃, 江蘇云意電氣股份, 廣東風(fēng)華技股份, 浙江中能合控股集團(tuán),固安維信諾,淮安天合光能,浙江老鷹半導(dǎo)體, 四川信通電子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大學(xué), 汕頭大學(xué), 南方醫(yī)科大學(xué), 清華大學(xué), 北京大學(xué), 復(fù)旦大學(xué), 西北工業(yè)大學(xué), 南京醫(yī)科大學(xué), 香港中文大學(xué), 香港城市大學(xué), 蘇州大學(xué), 深圳職業(yè)技術(shù)學(xué)院, 南京大學(xué)合肥國家試驗(yàn)室, 上海交通大學(xué)醫(yī)學(xué)院, 華南理工大學(xué),華東師范大學(xué),江南大學(xué),重慶26所, 深圳大學(xué), 南方科技大學(xué), 深圳技術(shù)大學(xué), 理化技術(shù)研究所, 中國工程物理研究院激光聚變研究中心, 廣東粵港澳大灣區(qū)黃埔材料研究院, 桂林電子科技大學(xué), 上海硅酸鹽研究所, 中國航天五院,中科合肥智慧農(nóng)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半導(dǎo)體設(shè)備,快速退火爐,原子層沉積,鍵合機(jī),光刻機(jī)

CRX-6.5K兼顧了無液氦操作的便利性和Lake Shore產(chǎn)品的可靠性,為用戶提供了一種低成本、通用的解決方案。它使用獨(dú)立的閉循環(huán)制冷機(jī),開機(jī)后可在無人協(xié)助的情況下冷卻至低溫。它的多功能性和經(jīng)濟(jì)性使CRX-6.5K成為世界各地許多研究人員的首丶選工具。

 

I-V、C-V和微波測量在CRX-6.5K上是標(biāo)準(zhǔn)的。雙級(jí)閉循環(huán)制冷機(jī)允許樣品在冷卻過程中保持在較高溫度,降低了樣品冷凝的可能性,這是測量有機(jī)材料的關(guān)鍵要求。

 

CRX-6.5K可在8 K至350 K的溫度范圍內(nèi)工作,并可選擇擴(kuò)展20 K至675 K的高溫范圍。該系統(tǒng)可容納直徑高達(dá)51 mm(2 in)的完整晶圓片和部分晶圓片。探針、測試電纜、樣品座和選件的廣泛選擇使其能夠滿足多種特定的測量應(yīng)用。


設(shè)備參數(shù):


溫度范圍
安裝2個(gè)探針臂基礎(chǔ)溫度8 K,控制范圍8.5 K ~   350 K
安裝4個(gè)探針臂基礎(chǔ)溫度9 K,控制范圍9.5 K   ~   350 K
安裝6個(gè)探針臂基礎(chǔ)溫度10 K,控制范圍10.5 K ~   350 K
安裝PS-HTSTAGE選件(與樣品背面偏壓不兼容)基礎(chǔ)溫度20 K,控制范圍20 K   ~   675 K
溫度穩(wěn)定性
基礎(chǔ)溫度 (無加熱控制)未說明
<10 K±25 mK
11 K ~ 350 K±10 mK
351 K ~ 675 K±50 mK
真空
室溫<5×10-4 Torr
基礎(chǔ)溫度<1×10-5 Torr
最高溫度<5×10-5 Torr
循環(huán)時(shí)間
總循環(huán)6.25 h
抽真空0.5 h
探針臺(tái)冷卻3.5 h
探針臺(tái)升溫2.25 h
樣品
最大尺寸51 mm(2英寸)
樣品背光接口不可選
樣品旋轉(zhuǎn)不可選
樣品振動(dòng)<2 μm
探針配置
最大探針數(shù)6
探針臂溫度計(jì)用于監(jiān)視探針臂的溫度
冷卻探針支架<20 K(樣品在基礎(chǔ)溫度下)
探針支架連接樣品臺(tái)熱沉
探針臂支架連接防輻射屏熱沉
DC/RF探針電絕緣>100GΩ用于低漏電流測量
微波探針頻率范圍從DC到67GHz
光纖探針可用于電光測量
落針范圍所有探針均可在直徑為25.4 毫米(1 英寸)的圓內(nèi)落針




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