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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學(xué)儀器及設(shè)備>電子顯微鏡>聚焦離子束顯微鏡(FIB)>Crossbeam 350 /550 聚焦離子束和掃描電子顯微鏡 – FIB-SEM

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Crossbeam 350 /550 聚焦離子束和掃描電子顯微鏡 – FIB-SEM

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似空科學(xué)儀器(上海)有限公司是一家儀器設(shè)備的經(jīng)銷商。我們致力于為中國制造業(yè)和研發(fā)機(jī)構(gòu)提供高精度、符合人體工學(xué)設(shè)計(jì)的儀器設(shè)備。我們也夢想有朝一日,能夠充分掌握市場需求,深刻理解儀器設(shè)備的技術(shù)原理,聚集一批有激情、有理想、有技術(shù)的人,為中國的制造業(yè)升級以及中國科研走向世界,提供自有知識(shí)產(chǎn)權(quán)的先進(jìn)儀器設(shè)備!
儀器設(shè)備發(fā)展的是探測手段和傳感器不對被測目標(biāo)產(chǎn)生任何干擾,企業(yè)管理的是一切以市場為核心,不以自我的意愿抗拒市場的趨勢,代替客戶的喜好,于是我們?nèi)∶?ldquo;似空”,希望以忘我的精神服務(wù)客戶。

 

失效分析,芯片開封,表面觀測,金相研磨,光學(xué)及視頻顯微鏡,超聲波檢測,X射線檢測,激光微納加工等

專為高通量 3D 分析和樣品制備量身打造的 FIB-SEM聚焦離子束和掃描電子顯微鏡 – FIB-SEM蔡司 Crossbeam 將場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)鏡筒的強(qiáng)大成像和分析性能與新一代聚焦離子束(FIB)的優(yōu)異加工能力相結(jié)合。無論是切割、成像或進(jìn)行 3D 分析,Crossbeam 系列都能極大地提升您的應(yīng)用體驗(yàn)。使用 Gemini 電子光學(xué)系統(tǒng),您可以從掃描電子顯微鏡(SEM)圖像中獲取真實(shí)的樣品信息。Ion-sculptor FIB 鏡筒引入了全新的 FIB 加工方法,能夠減少樣品損傷,提升樣品質(zhì)量,從而加快實(shí)驗(yàn)進(jìn)程。

無論用于科研機(jī)構(gòu)還是工業(yè)實(shí)驗(yàn)室,單用戶實(shí)驗(yàn)室或多用戶實(shí)驗(yàn)平臺(tái),如果您想獲得高質(zhì)量,高影響力的實(shí)驗(yàn)結(jié)果,蔡司 Crossbeam 的模塊化平臺(tái)設(shè)計(jì)可讓您根據(jù)自身需求的變化,隨時(shí)對儀器系統(tǒng)進(jìn)行升級。

 

 

 

技術(shù)參數(shù):


蔡司 Crossbeam 350

蔡司 Crossbeam 550

掃描電子顯微鏡(SEM)

Gemini I 鏡筒

Gemini II 鏡筒

可變氣壓選項(xiàng)

可選 Tandem decel

電子束流:5 pA – 100 nA

電子束流:10 pA – 100 nA

聚焦離子束
(FIB)

分辨率:3 nm @ 30 kV(統(tǒng)計(jì)方法)

分辨率:3 nm @ 30 kV(統(tǒng)計(jì)方法)

分辨率:120 nm @ 1 kV & 10 pA(可選)

分辨率:120 nm @ 1 kV & 10 pA

探測器

Inlens SE、Inlens EsB、VPSE(可變壓力二次電子探測器)、SESI(二次電子二次離子探測器)、aSTEM(掃描透射電子探測器)、aBSD(背散射探測器)

Inlens SE、Inlens EsB、ETD(Everhard-Thornley 探測器)、SESI(二次電子二次離子探測器)、aSTEM(掃描透射電子探測器)、aBSD(背散射探測器)和 CL(陰極熒光探測器)

樣品倉規(guī)格和端口

標(biāo)準(zhǔn)樣品倉配有 18 個(gè)可配置接口

標(biāo)準(zhǔn)樣品倉配有 18 個(gè)可配置接口 / 大樣品倉配有 22 個(gè)可配置接口

載物臺(tái)

X /Y = 100 mm

X/Y = 100 mm / X/Y = 153 mm

Z = 50 mm,Z' = 13 mm

Z = 50 mm,Z' = 13 mm / Z = 50 mm,Z' = 20 mm

T = -4° 至 70°,R = 360°

T = -4° 至 70°,R = 360° /  T = -15° 至 70°,R = 360°

電荷控制

電子束流槍

電子束流槍

局部電荷中和器

局部電荷中和器

可變壓力

-

氣體

單通道氣體注入系統(tǒng):Pt、C、SiOx、W、H2O

單通道氣體注入系統(tǒng):Pt、C、SiOx、W、H2O

多通道氣體注入系統(tǒng):Pt、C、W、Au、H2O、SiOX、XeF2

多通道氣體注入系統(tǒng):Pt、C、W、Au、H2O、SiOX、XeF2

存儲(chǔ)分辨率

32 k × 24 k(使用選配的 ATLAS 5 3D 斷層掃描模塊,可高達(dá) 50 k × 40 k)

32 k × 24 k(使用選配的 ATLAS 5 3D 斷層掃描模塊,可高達(dá) 50 k × 40 k)

可選分析附件

EDS、EBSD、WDS、SIMS,如有需要還可提供其它選件

EDS、EBSD、WDS、SIMS,如有需要還可提供其它選件

優(yōu)勢

因采用可變壓力模式及廣泛的原位實(shí)驗(yàn),可大幅擴(kuò)大樣品兼容性。

以高通量完成分析與成像,且在各種條件下皆可獲得高分辨率。

 

 

聚焦離子束和掃描電子顯微鏡 – FIB-SEM

 




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