化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>工業(yè)在線(xiàn)及過(guò)程控制儀>流量計(jì)流速儀/測(cè)漏儀>質(zhì)量流量計(jì)> SEC-N112MGM 熱式氣體質(zhì)量流量控制器
SEC-N112MGM 熱式氣體質(zhì)量流量控制器
| 參考價(jià) | ￥ 8500 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱(chēng) 曦源科學(xué)儀器（上海）有限公司
- 品牌 HORIBA/堀場(chǎng)
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 日本
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/10/20 10:46:01
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 86
聯(lián)系方式：楊二冬13062604980 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類(lèi) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬(wàn) | 介質(zhì)分類(lèi) | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥,綜合 |
HORIBA STEC SEC-N112MGM 熱式氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
HORIBA STEC SEC-N112MGM 熱式氣體質(zhì)量流量控制器 是日本堀場(chǎng)（HORIBA）旗下 SEC-N100 系列數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC） 的代表型號(hào)之一。
該系列基于 熱式質(zhì)量流量測(cè)量原理（Thermal Mass Flow Measurement），采用高精度傳感元件與高速控制算法，實(shí)現(xiàn)對(duì)各類(lèi)氣體的高精度、快速、穩(wěn)定的流量控制。
憑借 ±1% S.P. 的控制精度和 ≤ 1 s 的響應(yīng)速度，SEC-N112MGM 廣泛應(yīng)用于 半導(dǎo)體工藝、真空鍍膜、精密氣體配比、科研氣體實(shí)驗(yàn)系統(tǒng) 等領(lǐng)域。
主要特性與優(yōu)勢(shì)
熱式質(zhì)量流量測(cè)量原理（Thermal Mass Flow Method）
基于加熱與溫度差檢測(cè)原理，直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量，無(wú)需溫度和壓力補(bǔ)償。高精度 ±1.0% S.P. 控制
通過(guò)內(nèi)置 PID 控制與數(shù)字反饋系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高重復(fù)性和線(xiàn)性響應(yīng)。快速響應(yīng) ≤ 1 秒
采用 HORIBA 的 Variable PID 技術(shù)，確保流量變化時(shí)快速穩(wěn)定。多氣體/多量程（Multi-Gas, Multi-Range）功能
支持多種氣體預(yù)設(shè)（N?、Ar、O?、H?、He、CF? 等），可通過(guò)軟件切換不同氣體與流量量程。豐富的通信接口
提供 RS-485（F-NET 協(xié)議）數(shù)字通信及模擬信號(hào)（0–5 V、4–20 mA）接口，支持多種控制系統(tǒng)集成。金屬密封結(jié)構(gòu) (MGM)
采用全金屬密封設(shè)計(jì)，適用于高純氣體及真空工藝環(huán)境。高可靠性與低漂移
長(zhǎng)期穩(wěn)定性?xún)?yōu)異，適用于連續(xù)運(yùn)行與高精度氣體配比控制。全球服務(wù)與可追溯校準(zhǔn)
HORIBA 提供全球一致的校準(zhǔn)體系，符合 ISO 9001 與 CE 認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 型號(hào) | HORIBA STEC SEC-N112MGM |
| 系列 | SEC-N100 Series |
| 測(cè)量原理 | 熱式質(zhì)量流量（Thermal Mass Flow） |
| 滿(mǎn)量程范圍 | 10 SCCM ～ 1000 SLM （可選，N? 標(biāo)準(zhǔn)氣體） |
| 控制精度 | ± 1.0 % S.P. （≥ 35 % F.S. 時(shí)） |
| 重復(fù)性 | ± 0.2 % F.S. |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 1 秒（設(shè)定點(diǎn)到穩(wěn)定輸出） |
| 工作壓力 | ≤ 0.3 MPa（典型） |
| 通信接口 | RS-485 （F-NET Protocol） |
| 信號(hào)輸出 | 模擬 0–5 V / 4–20 mA |
| 密封結(jié)構(gòu) | MGM = 金屬密封（適用于高純氣體） |
| 氣體類(lèi)型 | N?、O?、Ar、He、H?、CF? 等（可編程） |
| 工作溫度范圍 | 15 ℃ ～ 45 ℃ |
| 安裝方式 | 水平或垂直安裝 |
| 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn) | CE、RoHS、ISO 9001 校準(zhǔn)體系 |
| 產(chǎn)地 | 日本 Kyoto 堀場(chǎng)制作所 |
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造工藝氣體流量控制（CVD、PVD、ALD 等）
精密真空鍍膜與薄膜沉積設(shè)備
高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)（氣體柜、混氣系統(tǒng)）
科研與實(shí)驗(yàn)室氣體測(cè)控裝置
環(huán)保監(jiān)測(cè)、燃燒分析及精密儀器氣路控制
品牌介紹
HORIBA STEC 是日本堀場(chǎng)集團(tuán)（HORIBA Ltd.）旗下專(zhuān)注于 氣體流量測(cè)量與控制技術(shù) 的核心子公司，總部位于京都。
其質(zhì)量流量控制器（MFC/MFM）產(chǎn)品在全球半導(dǎo)體、真空鍍膜、分析儀器行業(yè)中占據(jù)優(yōu)勢(shì)地位。
憑借 50 余年的熱式流量計(jì)技術(shù)積累、嚴(yán)格的質(zhì)量管理體系、以及優(yōu)良的數(shù)字化控制技術(shù)，HORIBA STEC 的產(chǎn)品被廣泛認(rèn)可為高精度、高可靠性、高壽命的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
產(chǎn)品選型建議
| 型號(hào) | 通信方式 | 密封方式 | 典型用途 |
|---|---|---|---|
| SEC-N102 | RS-485 / F-NET | 金屬或橡膠密封 | 通用科研、分析儀器 |
| SEC-N112MGM | RS-485 / F-NET | 金屬密封 | 高純氣體、半導(dǎo)體工藝控制 |
| SEC-N104 | DeviceNet™ | 金屬密封 | 工業(yè)自動(dòng)化集成系統(tǒng) |
| SEC-N105 | CC-Link® | 金屬密封 | 與日系設(shè)備兼容系統(tǒng) |
| SEC-N107 | EtherCAT® | 金屬密封 | 高速現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)控制應(yīng)用 |
常見(jiàn)問(wèn)題 FAQ
Q1：SEC-N112MGM 與普通流量計(jì)有什么區(qū)別？
A1：SEC-N112MGM 為熱式質(zhì)量流量控制器（MFC），可主動(dòng)控制并保持流量穩(wěn)定，而普通流量計(jì)只能被動(dòng)顯示。
Q2：是否可以測(cè)量多種氣體？
A2：支持多氣體功能，可通過(guò)數(shù)字接口切換氣體類(lèi)型（N?、O?、Ar 等）。
Q3：是否需要溫壓補(bǔ)償？
A3：無(wú)需，因其采用熱式原理，直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量。
Q4：如何校準(zhǔn)？
A4：HORIBA 提供出廠(chǎng)校準(zhǔn)及追溯證書(shū)，用戶(hù)可送回或通過(guò)代理商進(jìn)行周期校準(zhǔn)。
Q5：是否支持 EtherCAT 或 DeviceNet 通信？
A5：該型號(hào)為 RS-485 版本，若需 EtherCAT 可選擇 SEC-N107 型號(hào)。
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)