HCS621GXY 顯微鏡熱臺
- 公司名稱 茂鑫實業(yè)（上海）有限公司
- 品牌
- 型號 HCS621GXY
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/10/24 16:13:48
- 訪問次數(shù) 52
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HCS621GXY顯微鏡熱臺專為顯微鏡/光譜儀設(shè)計。此款冷熱臺可在-190℃ ~ 600℃范圍內(nèi)控溫，同時允許光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。
熱臺上蓋與底殼構(gòu)成一個氣密腔，可往內(nèi)充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。
此外冷熱臺帶有可從密封腔外移動樣品的XY樣品微分移動尺。此外另有真空腔型號HCS421VXY提供。
功能特點：
| 適用于 顯微鏡/光譜儀 |
| -190℃~600℃ 可編程控溫（負溫需配液氮制冷系統(tǒng)） |
| 直徑26 mm帶通光孔的加熱區(qū) |
| 在XY方向移動樣品的微分移動尺 |
| 可充入保護氣體的氣密腔（另有真空腔型號） |
| 可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK |
溫控參數(shù)：
| 溫度范圍 | -190℃ ~ 600℃（負溫需配液氮制冷系統(tǒng)） |
| 加熱塊材質(zhì) | 銀 |
| 傳感器/溫控方式 | 100Ω鉑RTD / PID控制 |
| *大加熱/制冷速度 | +150℃/min （100℃時） -50℃/min （100℃時） |
| *小加熱/制冷速度 | ±0.01℃/min |
| 溫度分辨率 | 0.01℃ |
| 溫度穩(wěn)定性 | ±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃） |
| 軟件功能 | 可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線 |
光學(xué)參數(shù)：
| 適用光路 | 透射光路 和 反射光路 |
| 窗片 | 可拆卸與更替的窗片 |
| *小物鏡工作距離 | 5 mm *截面圖中WD |
| *小聚光鏡工作距離 | 11.5 mm *截面圖中CWD |
| 透光孔 | φ2 mm *截面圖中φVA |
| 上蓋窗片觀察 | 窗片范圍φ18mm，*大視角±58° *截面圖中θ1 |
| 底部窗片觀察 | 窗片范圍φ18mm，*大視角±19° *截面圖中θ2 |
| 負溫下窗片除霜 | 吹氣除霜管路 |
結(jié)構(gòu)參數(shù)：
| 加熱區(qū)/樣品區(qū) | Ø26 mm *使用XY移動尺時樣品區(qū)由樣品襯底決定 |
| 樣品腔高 | 2.5 mm *樣品*大厚度 = 樣品腔高 – 樣品襯底厚度 |
| 樣品襯底 | 默認為石英坩堝（內(nèi)徑>9mm/厚0.5mm） *可根據(jù)用戶使用需求更換為其他 |
| 放樣 | 水平抽出上蓋后置入樣品 |
| 樣品XY移動尺 | 可從密封腔外移動樣品，分辨率10μm，行程10mm |
| 氣氛控制 | 氣密腔，可充入保護氣體 |
| 外殼冷卻 | 可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近 |
| 安裝方式 | 水平安裝 或 垂直安裝 |
| 臺體尺寸/重量 | 159.7 mm x 86 mm x 22 mm / 500g |
配置列表：
| 基本配置 | HCS621GXY冷熱臺 、mK2000B溫控器 |
| 可選配件 | 冷熱臺安裝支架 、液氮制冷系統(tǒng) 、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、、 真空系統(tǒng)（*用于真空型號） |
用于Instec溫控裝置：溫控配件
用于搭配Instec冷熱臺、Instec溫控探針臺、Instec溫控晶圓夾盤、Instec冷熱平板、Instec定制溫控裝置使用。
溫控配件系列：
| 安裝支架：用于將溫控裝置固定在用戶設(shè)備上 |
| mK2000B溫控器，含InstecAPP溫控軟件，溫控裝置必選 |
| LN2-SYS液氮制冷系統(tǒng)：液氮泵+液氮罐+液氮管線 |
| 外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)，帕爾貼式溫控裝置必選 |
| MITO系列溫控聯(lián)用顯微鏡相機，含控制軟件 |
| LWDC2長工作距離聚光鏡 |
| 真空系統(tǒng)：包括真空泵+真空管路，用于真空型溫控裝置 |
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