L45 擴(kuò)散爐

參考價(jià)	￥ 13
訂貨量	≥1

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 青島森岡自動(dòng)化有限公司
品牌
型號 L45
產(chǎn)地 青島市城陽區(qū)
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2017/11/18 5:25:17
訪問次數(shù) 374

產(chǎn)品標(biāo)簽

擴(kuò)散、氧化、退火、合金爐

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公司介紹 主營產(chǎn)品

本公司坐落在青島市李滄區(qū)交通便利，環(huán)境優(yōu)美?，F(xiàn)有廠房面積3200平方米，固定資產(chǎn)1800萬元，共有員工70余人，工程技術(shù)人員30余人。是一批具有豐富技術(shù)經(jīng)驗(yàn)和敬業(yè)精神的優(yōu)秀群體所組成的。是我國生產(chǎn)微電子*設(shè)備定點(diǎn)廠家之一,中國半導(dǎo)體設(shè)備協(xié)會(huì)理事單位。在國內(nèi)外享有盛譽(yù)，為我國863計(jì)劃做出重大貢獻(xiàn)。

是一家集控制技術(shù)、真空技術(shù)、熱工技術(shù)為一體的*公司。目前的主要產(chǎn)品有：程控?cái)U(kuò)散系統(tǒng)及高、低高溫?cái)U(kuò)散爐系列、微機(jī)擴(kuò)散爐系列、手動(dòng)/自動(dòng)清洗機(jī)系列、低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備，真空燒結(jié)爐系列、氫氣爐系列、高精度智能溫度控制儀系列和替代進(jìn)口的擴(kuò)散爐爐體及采用*制造的流流量計(jì)，同時(shí)承接各種微電子生產(chǎn)線制造和進(jìn)口半導(dǎo)體*設(shè)備的改造。

以科技*、質(zhì)量為本、服務(wù)周到的公司精神與新老客戶真誠合作.公司以優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品、優(yōu)良的服務(wù)、優(yōu)惠的價(jià)格回報(bào)客戶，為我國電子工業(yè)的發(fā)展作出更大的貢獻(xiàn)。

我們已經(jīng)取得了一些小小的成就。我們將以感恩的心更加努力工作，我們有能力為您提供更加優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品，更好的服務(wù)以回報(bào)朋友們的信任！

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渦街流量計(jì),擴(kuò)散爐,鏈?zhǔn)綗Y(jié)爐，真空燒結(jié)爐

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擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體器件及規(guī)模集成電路制造過程中用于對晶片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝的一種熱加工設(shè)備。按控制方式分為微控和程控兩種。其組成有：加熱爐體（擴(kuò)散爐主機(jī)）、凈化工作臺、送片系統(tǒng)（推拉舟系統(tǒng)）、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等。

微機(jī)主要技術(shù)指標(biāo)

◆可配工藝管外徑：2～8英寸
◆可配工藝管數(shù)量：1～4管/臺
◆工作溫度范圍：400～1300°C
◆恒溫區(qū)長度及精度：300～1000mm 600～1300°C±0.5°C
◆單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性：600～1300°C±0.5°C/24h
◆zui大可控升溫速度：15°C/min
◆zui大降溫速度:5°C/min
★我們可為用戶量身定制非標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品。

該系統(tǒng)主要功能如下：

◆全中文操作界面，可編輯參數(shù)，操作簡便。
◆可保存多條工藝曲線，每條曲線可設(shè)置多步。
◆工藝曲線的自動(dòng)運(yùn)行控制功能。
◆自動(dòng)運(yùn)行中可暫停/繼續(xù)運(yùn)行功能。
◆工藝中可強(qiáng)制跳到下一工藝歩運(yùn)行功能。
◆只能升降溫斜率控制功能。
◆PID參數(shù)自整定功能。
◆可存儲多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能。
◆系統(tǒng)故障的檢測與報(bào)警功能。
◆系統(tǒng)誤差修正（單點(diǎn)或多點(diǎn)動(dòng)態(tài)修正功能）。
◆智能懸臂推拉舟控制功能。
◆工藝氣體的程序控制功能（電磁閥/質(zhì)量流量控制器）。
◆停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能等等