化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>行業(yè)專(zhuān)用儀器及設(shè)備>其它行業(yè)專(zhuān)用儀器>其它專(zhuān)用儀器>URE-2000/17 紫外光刻機(jī)
URE-2000/17 紫外光刻機(jī)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱(chēng) 北京優(yōu)仕錦科技發(fā)展有限公司
- 品牌
- 型號(hào) URE-2000/17
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間 2017/11/24 10:43:23
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 1214
產(chǎn)品標(biāo)簽
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
URE-2000系列單面紫外光刻機(jī)（曝光機(jī)）
型號(hào)：U2000/17
簡(jiǎn)單介紹：光刻機(jī)：（英文名：Mask ALIGENER）又名曝光機(jī),
URE-2000/17型光刻機(jī)技術(shù)性能與配置
該光刻機(jī)技術(shù)特征
1．光學(xué)系統(tǒng)：采用多點(diǎn)反射鏡聚光和實(shí)現(xiàn)均勻照明，反射鏡采用梯形反射鏡，國(guó)內(nèi)其他機(jī)型采用矩形反射鏡，URE-2000/17具有更高的能量收集效率（Ф100mm范圍內(nèi)功率密度大于6mW/cm²）和照明均勻性（Ф100mm范圍內(nèi)均勻性可達(dá)±4%，國(guó)內(nèi)同類(lèi)一般低于±4%）。波長(zhǎng)單一，光譜純凈。
2.照明光源汞燈:采用進(jìn)口直流高壓汞燈，光功率穩(wěn)定。
3．操作十分方便：
（1）抽拉式掩模，同一塊掩模多次曝，無(wú)須上下掩模。
（2）觸摸開(kāi)關(guān)操作，手感好，參數(shù)設(shè)置方便。
（3）數(shù)字設(shè)定曝光時(shí)間，倒計(jì)時(shí)曝光，曝光量可精確控制。
4．工藝適應(yīng)性非常好，可適應(yīng)的片子范圍可達(dá)f10-f100mm的各種規(guī)則和不規(guī)則片,厚度可適應(yīng)0.1mm—8mm。
掩?？蛇m應(yīng)2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸。這些所需的樣片臺(tái)和掩模吸盤(pán)均免費(fèi)提供。國(guó)內(nèi)同類(lèi)大部分的樣片臺(tái)和掩模吸盤(pán)要么不能提供，要么收費(fèi)提供。
5.對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：高倍率雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過(guò)程，既保證大視場(chǎng)又保證高倍率（zui大倍率可達(dá)700倍）并提供USB輸出；既滿(mǎn)足高精度對(duì)準(zhǔn)，又可用于檢測(cè)曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲(chǔ)。國(guó)內(nèi)同類(lèi)采用兩個(gè)簡(jiǎn)易的單筒顯微鏡+CCD，不能目視，既不方便兩個(gè)視場(chǎng)觀測(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，在保證高倍率時(shí)不能保證大視場(chǎng)，保證大視場(chǎng)則不能保證高倍率。
6． 附件：真空泵配置無(wú)油干泵，既無(wú)污染，噪音也小。
7．外型：漂亮
（1） 計(jì)算機(jī)色套紅色，非常漂亮（是其它廠(chǎng)商無(wú)法比的）
（2） 80%以上零件采用防繡材料，其余材料采用表面處理方法。
（3） 人機(jī)操作十分舒適
（4） 氣管、電線(xiàn)：走暗線(xiàn)（國(guó)內(nèi)同類(lèi)一般管線(xiàn)凌亂）
8.品牌優(yōu)勢(shì)，該光刻機(jī)型號(hào)占有zui大*，已經(jīng)出口過(guò)6臺(tái)，售后服務(wù)有保證。
二．主要技術(shù)參數(shù)l 曝光面積：Ф100mm；
1、分辨力：1.7mm（膠厚2mm的正膠）；
2、對(duì)準(zhǔn)精度：±1mm；
3、掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm;Y:6mm；
4、 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸；
5、樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm（可擴(kuò)展為15mm）；
該光刻機(jī)技術(shù)特征
1．光學(xué)系統(tǒng)：采用多點(diǎn)反射鏡聚光和實(shí)現(xiàn)均勻照明，反射鏡采用梯形反射鏡，國(guó)內(nèi)其他機(jī)型采用矩形反射鏡，URE-2000/17具有更高的能量收集效率（Ф100mm范圍內(nèi)功率密度大于6mW/cm²）和照明均勻性（Ф100mm范圍內(nèi)均勻性可達(dá)±4%，國(guó)內(nèi)同類(lèi)一般低于±4%）。波長(zhǎng)單一，光譜純凈。
2.照明光源汞燈:采用進(jìn)口直流高壓汞燈，光功率穩(wěn)定。
3．操作十分方便：
（1）抽拉式掩模，同一塊掩模多次曝，無(wú)須上下掩模。
（2）觸摸開(kāi)關(guān)操作，手感好，參數(shù)設(shè)置方便。
（3）數(shù)字設(shè)定曝光時(shí)間，倒計(jì)時(shí)曝光，曝光量可精確控制。
4．工藝適應(yīng)性非常好，可適應(yīng)的片子范圍可達(dá)f10-f100mm的各種規(guī)則和不規(guī)則片,厚度可適應(yīng)0.1mm—8mm。
掩?？蛇m應(yīng)2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸。這些所需的樣片臺(tái)和掩模吸盤(pán)均免費(fèi)提供。國(guó)內(nèi)同類(lèi)大部分的樣片臺(tái)和掩模吸盤(pán)要么不能提供，要么收費(fèi)提供。
5.對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：高倍率雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過(guò)程，既保證大視場(chǎng)又保證高倍率（zui大倍率可達(dá)700倍）并提供USB輸出；既滿(mǎn)足高精度對(duì)準(zhǔn)，又可用于檢測(cè)曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲(chǔ)。國(guó)內(nèi)同類(lèi)采用兩個(gè)簡(jiǎn)易的單筒顯微鏡+CCD，不能目視，既不方便兩個(gè)視場(chǎng)觀測(cè)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，在保證高倍率時(shí)不能保證大視場(chǎng)，保證大視場(chǎng)則不能保證高倍率。
6． 附件：真空泵配置無(wú)油干泵，既無(wú)污染，噪音也小。
7．外型：漂亮
（1） 計(jì)算機(jī)色套紅色，非常漂亮（是其它廠(chǎng)商無(wú)法比的）
（2） 80%以上零件采用防繡材料，其余材料采用表面處理方法。
（3） 人機(jī)操作十分舒適
（4） 氣管、電線(xiàn)：走暗線(xiàn)（國(guó)內(nèi)同類(lèi)一般管線(xiàn)凌亂）
8.品牌優(yōu)勢(shì)，該光刻機(jī)型號(hào)占有zui大*，已經(jīng)出口過(guò)6臺(tái)，售后服務(wù)有保證。
二．主要技術(shù)參數(shù)l 曝光面積：Ф100mm；
1、分辨力：1.7mm（膠厚2mm的正膠）；
2、對(duì)準(zhǔn)精度：±1mm；
3、掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm;Y:6mm；
4、 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸；
5、樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm（可擴(kuò)展為15mm）；
照明均勻性：±4%（Ф100mm范圍）；
6、掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X:±5mm; Y:±5mm; q: ±6度；
7、汞燈功率：200W（直流）；
8、曝光波長(zhǎng)：365nm；
9 曝光能量密度：6mW/cm；l 曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）。
6、掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X:±5mm; Y:±5mm; q: ±6度；
7、汞燈功率：200W（直流）；
8、曝光波長(zhǎng)：365nm；
9 曝光能量密度：6mW/cm；l 曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）。
應(yīng)用領(lǐng)域
集成電路芯片、電子封裝、微電子機(jī)械系統(tǒng)、微光學(xué)元件、紅外探測(cè)器、生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻，波導(dǎo)陣列光刻、液晶顯示、聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、
集成電路芯片、電子封裝、微電子機(jī)械系統(tǒng)、微光學(xué)元件、紅外探測(cè)器、生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻，波導(dǎo)陣列光刻、液晶顯示、聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、
碼盤(pán)刻劃等
相關(guān)分類(lèi)
該廠(chǎng)商的其他產(chǎn)品
相關(guān)技術(shù)文章
- 滾珠導(dǎo)軌：手術(shù)機(jī)器人與影像設(shè)備
- 電力行業(yè)新產(chǎn)品“電量記錄分析儀
- 電力行業(yè)新產(chǎn)品“低頻高壓發(fā)送器
- SUN DRAIN三愛(ài)YS201-W工業(yè)除油器
- 電力行業(yè)新產(chǎn)品“動(dòng)力電纜故障測(cè)
- SAKAGUCHI坂口電熱加熱器MB2A1AN
- 日本W(wǎng)IKA壓力表型號(hào)及介紹
- 電力行業(yè)新產(chǎn)品“變壓器油專(zhuān)用色
- 縫合線(xiàn)線(xiàn)徑測(cè)試儀的性能測(cè)試裝置
- 日本金屬探知機(jī)制造jmdm-atter控
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)