上海奧法美嘉生物科技有限公司
CMP 漿液過濾測試
檢測樣品：漿料
檢測項目：過濾測試
方案概述：通過過濾和監(jiān)測來實現(xiàn)控制機械化學研磨液（CMP）的尾端大粒子數(shù)（LPC）,以減少晶圓表面上會降低產(chǎn)量值的微劃痕。Entegris現(xiàn)在提供正確控制CMP漿料粒度分布以大化產(chǎn)量所需的過濾器和粒度分析儀。
大限度地提高產(chǎn)量需要嚴格控制CMP漿料的粒度分布(PSD)，可以通過過濾和PSD監(jiān)測來實現(xiàn)。選擇適當?shù)倪^濾器并放置，可以在不改變主要成分的情況下減少LPC。通過將實驗室和/或過程中監(jiān)測與粒度計數(shù)器/分析儀相結(jié)合，可以確保高 LPC 漿料不會接觸晶片表面。在本研究中，Entegris Planargard? NMB CMP 漿料過濾器檢測兩種漿料。使用AccuSizer液體顆粒計數(shù)器系統(tǒng)進行粒度分析，漿料的物理特性如圖所示。
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