這些氣泡在液體中振動并快速崩潰，產(chǎn)生微小的擦洗動作，從而去除硅片表面的顆粒。這一過程稱為空化作用，它有助于將污物層分散、乳化、剝離，達到清洗的目的。

此外，超聲波清洗機還包括超聲波發(fā)生器、清洗槽、輸送帶、過濾器、回收系統(tǒng)等部分。超聲波發(fā)生器產(chǎn)生高頻振動，通過清洗槽傳遞到清洗液中。輸送帶將硅片逐一輸送到清洗槽內(nèi)，而過濾器則用于過濾掉清洗液中的雜質(zhì)?；厥障到y(tǒng)可以將清洗液循環(huán)使用，減少浪費。

注意的是，使用超聲波清洗機前需要對硅片表面進行預(yù)處理，如去除表面的油脂和松散物質(zhì)，以確保清洗效果。此外，該清洗機不僅適用于硅片，還可用于清洗光學(xué)設(shè)備、塑料殘留物等其他材料，具有廣泛的應(yīng)用范圍。