SRS RGA300 是一款 300amu 的殘余氣體分析儀，具有性能和較高的性價比，以下是其產(chǎn)品概述：
系統(tǒng)組成：由四極桿探頭、電子控制單元（ECU）和實時 Windows 軟件包構成。其中，探頭包括離子發(fā)生器、四極濾質器和檢測器，設計簡潔，零件少，可減少放氣和雜質引入；ECU 集成度高，包含控制所需的所有電子設備，可由外部電源或內(nèi)置電源模塊供電，且?guī)в?LED 指示燈顯示狀態(tài)，還能與探頭分離進行高溫烘烤。
性能特點：質量分辨率優(yōu)于 0.5amu @ 10% 峰高（根據(jù) AVS 標準 2.3），在整個質量范圍內(nèi)可調(diào)至恒定峰寬；具有 6 個量級的動態(tài)范圍，溫度補償對數(shù)靜電計可在單次掃描中檢測 10-7 至 10-15 安培的離子電流，精度優(yōu)于 2%；標準配置法拉第杯探測器，可測量 10-5 到 5×10-11Torr 的分壓，可選電子倍增器，能檢測低至 5×10-14Torr 的分壓。
功能特性：具備內(nèi)置脫氣功能，通過電子沖擊解吸清潔離子源，降低背景噪聲；固件驅動的燈絲保護功能以 675Hz 持續(xù)監(jiān)控過壓，保護燈絲壽命；通過 RS-232 接口與計算機通信，可控制和監(jiān)控模擬、直方圖掃描、泄漏檢測及探頭參數(shù)等，便于集成到現(xiàn)有程序。
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