德國耶拿在半導(dǎo)體解決方案（二）： 輕松拿捏高純濕電子化學(xué)品

電子級試劑往往由于其純度高但待測TOC含量低，而使得允許的稀釋倍數(shù)受限。有些高純試劑稀釋后TOC將與空白無差別，無法準(zhǔn)確定量。

以雙氧水為例，其在分解過程中會產(chǎn)生大量氧氣，同時高溫下水分會迅速氣化，測定時的氣流波動會嚴(yán)重干擾測定結(jié)果。傳統(tǒng)分析采用稀釋進(jìn)樣的方法，而電子級的雙氧水含量特別低，稀釋后TOC含量與空白相差不大，會帶來很大的稀釋誤差，同時空氣中的CO₂也會影響分析結(jié)果。

德國耶拿的VITA技術(shù)用來補償不可避免的分析氣體流量的波動引起的信號變化，拓寬低濃度的檢測范圍，使得TOC系統(tǒng)更精確，靈敏，穩(wěn)定。對高達(dá)70%濃度H₂O₂溶液無需進(jìn)行稀釋，可直接進(jìn)樣分析。同時配備高聚焦NDIR檢測器，對CO₂具有更高靈敏度，可獲得更為可靠的結(jié)果，且一次進(jìn)樣可以同時分析TOC和TN參數(shù)，可以實現(xiàn)高效高通量測定。

案例一：30%/70% 雙氧水TOC/TN測定

對電子級分別為30%和70%雙氧水溶液進(jìn)行直接測定，70%雙氧水RSD達(dá)到0.5%，說明VITA流量技術(shù)很好地消除了燃燒過程中氣流波動帶來的影響，測試樣品后對2.5ppm的標(biāo)液進(jìn)行回測，回收率為103%，說明儀器的氧化性能佳；且儀器能兼顧TN的同時測試，為品控提供有力的數(shù)據(jù)支持。

對于酸堿性的樣品，如果直接進(jìn)入定量閥，長時間會腐蝕定量閥的密封圈和內(nèi)部器械，會加劇定量閥的損壞速度，導(dǎo)致進(jìn)樣體積不準(zhǔn)確等問題。德國耶拿在硬件上進(jìn)行技術(shù)革新，在保證進(jìn)樣體積準(zhǔn)確性的前提下，用超純水代替樣品進(jìn)入定量閥，避免樣品對定量閥的損耗，可以長時間分析酸堿性，甚至是有一定顆粒的高鹽樣品，耗材少，維護成本低。

案例二：電子級硫酸中TOC測定

考慮到高純硫酸在管道有很明顯的放熱反應(yīng)，樣品稀釋測定，同時進(jìn)行加標(biāo)回收實驗。從實驗數(shù)據(jù)可以看出，樣品加標(biāo)回收率為96%，TOC標(biāo)樣的回收率為97%，說明儀器對高純硫酸的基體耐受性好，能準(zhǔn)確測定電子級硫酸中低濃度TOC的含量。

對于較低TOC濃度樣品的測定，如何繪制低濃度的標(biāo)準(zhǔn)曲線顯得非常重要。由于配制標(biāo)液需要稀釋液，但實驗室很難找到TOC為零的稀釋液，在配制溶液的過程也容易引入空氣中的CO₂ ,得不到線性較好的曲線。德國耶拿multi N/C 總有機碳分析儀提供吸取不同體積繪制曲線的功能，無需人為配制曲線，線性輕松達(dá)到0.999以上，且校準(zhǔn)周期長達(dá)一年，減少每次做樣前曲線繪制的人力和時間，讓您有更多的時間做重要的事情。