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更新時(shí)間:2024-01-29 14:06:51瀏覽次數(shù):917評(píng)價(jià)
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,汽車(chē)及零部件,電氣 |
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KOSAKA臺(tái)階儀ET10000薄膜測(cè)厚儀產(chǎn)品概述:
● 針對(duì)生產(chǎn)線全自動(dòng)大型工件開(kāi)發(fā),可搭配機(jī)械手臂自動(dòng)進(jìn)退樣品。
高精度.安定性.機(jī)能性適合于FPD基板·晶圓硬盤(pán)等的微細(xì)形狀、段差、粗度測(cè)定的機(jī)型。
● 是多機(jī)能的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī),針對(duì)用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。
● ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測(cè)量。
● ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。
● ET4300一適合12"樣品測(cè)量。
臺(tái)階儀/膜厚儀ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)
KOSAKA臺(tái)階儀ET10000薄膜測(cè)厚儀產(chǎn)品概述:
重現(xiàn)性 | 1σ 1nm |
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測(cè)定范圍 | Z:100um |
分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
測(cè)定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)