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KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀產品概述：
● 針對生產線全自動大型工件開發(fā)，可搭配機械手臂自動進退樣品。
高精度．安定性．機能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。
● 是多機能的全自動微細形狀測定機，針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。
● ET4000A/ ET4000AK一可實現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。
● ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機。
● ET4300一適合12"樣品測量。
臺階儀/膜厚儀ET4000系列產品參數(shù)
KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀產品概述：
| 重現(xiàn)性 | 1σ 1nm |
|---|---|
| 測定范圍 | Z:100um |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
| 測定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
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