高頻光電導(dǎo)少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀是按照半導(dǎo)體設(shè)備和材料(F28-75)及GB/T1553的要求,采用高頻光電導(dǎo)衰減測(cè)量方法,適用于硅、鍺單晶的少數(shù)載流子壽命測(cè)量,硅單晶壽命測(cè)量ρ≥2Ω·cm。
規(guī)格參數(shù):
測(cè)試范圍:5-10000μs;
電阻率范圍:ρ≥2Ω·cm
參雜硅單晶片(厚度小于1mm),電阻率范圍:ρ>0.1Ω·cm
重復(fù)性誤差:≤±20%
光脈沖發(fā)生裝置
重復(fù)頻率:>20~30次/s
光脈沖關(guān)斷時(shí)間:0.2-1μs,余輝<1μs
紅外光源波長(zhǎng):1.06-1.09μm(測(cè)量硅單晶),紅外光在硅單晶內(nèi)穿透深大于500μm如測(cè)量鍺單晶壽命需配置適當(dāng)波長(zhǎng)的光源
脈沖電源:5A-20A
高頻振蕩源
石英諧振器頻率:30MHz
輸出功率:>1W
放大器、檢波器
放大倍數(shù):25倍
頻寬范圍:2Hz-2MHz
光源電極臺(tái):可測(cè)縱向放置的單晶、豎放單晶橫載面的壽命
可測(cè)單晶尺寸:
斷面豎測(cè):直徑25-150,厚2mm-500mm
縱向臥測(cè):直徑5mm-150mm,長(zhǎng)50mm-800mm
讀數(shù)方式:可選配測(cè)試軟件或數(shù)字示波器讀數(shù)
測(cè)試軟件:具有自動(dòng)保存數(shù)據(jù)及測(cè)試點(diǎn)衰減波形,可進(jìn)行查詢歷史數(shù)據(jù)和導(dǎo)出歷史數(shù)據(jù)等操作。
高頻光電導(dǎo)壽命測(cè)試儀/高頻光電導(dǎo)少子壽命測(cè)試儀(學(xué)校用)