XPS-7半導(dǎo)體材料氣體測試儀規(guī)格:
| 型號 | XPS-7 | 
| 檢測原理 | 定電位電解式 | 
| 檢測氣體對象 | 臭氧 | 
| 檢測范圍 | 0~10ppm | 
| 分辨率 | 0.01ppm | 
| 指示精度 | FS±10%以內(nèi) | 
| 報警模式 | 2段報警方式 | 
| 報警方式 | 蜂鳴器(間歇音)、報警燈閃爍 | 
| 應(yīng)答時間 | 60秒以內(nèi)(60%應(yīng)答) | 
| 電源 | 5號堿性干電池4節(jié)或AC 變壓器 | 
| 電池使用時間 | 連續(xù)12小時以上 | 
| 外型尺寸 | W762×H150×D128(除去突起物) | 
| 檢測方式 | 泵吸式 | 
| 使用溫度范圍 | 0℃~40℃ | 
| 重量 | 約1.3kg | 
| 附件 | 肩背皮帶、5號堿性干電池4節(jié)、過濾紙兩張 | 
| 選購件 | AC 變壓器、傳感器 通電臺、數(shù)據(jù)收集配套元件 | 
檢測氣體一覽表: | XPS-7對象氣體一覽表 |  | 
| 型號 | 氣體 | F.S | 型號 | 氣體 | F.S | 型號 | 氣體 | F.S | 
| XPS-7NH | NH3 | 100ppm | XPS-7GH | GeH4 | 1ppm | XPS-7HS | H2S | 50ppm | 
| XPS-7SH | SiH4 | 25ppm | XPS-7CL | CL2 | 5ppm | XPS-7CO | CO | 250ppm | 
| XPS-7DC | SiH2CL2 | 25ppm | XPS-7CF | CLF3 | 1ppm | XPS-7DS | Si2H6 | 25ppm | 
| XPS-7AS | AsH3 | 250ppm | XPS-7HC | HCL | 25ppm | XPS-7F2 | F2 | 5ppm | 
| XPS-7PH | PH3 | 1ppm | XPS-7HF | HF | 10ppm | XPS-7OZ | O3 | 1ppm | 
| XPS-7BH | B2H6 | 500ppm | XPS-7HB | HBr | 10ppm |  | 
| XPS-7SE | H2Se | 250ppm | XPS-7NO | NO | 100ppm |