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微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測試儀采用微波反射接觸光電導(dǎo)衰退測量方法,適用于厚度為1mm以下的硅片、電池片少數(shù)載流子壽命的測量,提供接觸、損傷、數(shù)字顯示的快速測量。壽命測量可靈敏地反映半導(dǎo)體重金屬污染及缺陷存在的情況,是半導(dǎo)體的重要檢測項目。
微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測試產(chǎn)品簡介:
微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測試儀是參照半導(dǎo)體設(shè)備和材料組織SEMI標(biāo)準(zhǔn)MF1535-0707及標(biāo)準(zhǔn)GB/T 26068-2010設(shè)計制造。
微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測試儀采用微波反射接觸光電導(dǎo)衰退測量方法,適用于厚度為1mm以下的硅片、電池片少數(shù)載流子壽命的測量,提供接觸、數(shù)字顯示的快速測量。壽命測量可靈敏地反映半導(dǎo)體重金屬污染及缺陷存在的情況,是半導(dǎo)體的重要檢測項目。
微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測試參數(shù):
讀數(shù)方式:數(shù)字直讀
壽命測量范圍:0.25μs-10ms
樣品電阻率下限>0.5Ω·cm
高頻光電導(dǎo)少數(shù)載流子壽命測試儀備注:WJ-100A型微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測試儀用于測量片狀樣品,測量棒狀樣品選用WJ-100B型微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測試儀!
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