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技術(shù)文章

8921SC13型美國BIRD油射線RF終止負(fù)載產(chǎn)品規(guī)格

點擊次數(shù):50 發(fā)布時間:2025-5-20

  8921SC13型美國BIRD油射線RF終止負(fù)載以實現(xiàn)最大的過程可重復(fù)性和一致性,現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要精確的RF功率調(diào)節(jié)和控制。確保準(zhǔn)確且可重復(fù)的RF電源到腔室的關(guān)鍵組件是RF發(fā)電機(jī)的校準(zhǔn),調(diào)節(jié)和監(jiān)視?,F(xiàn)在,Bird提供超穩(wěn)的低VSWR負(fù)載,可快速,精確地測量發(fā)電機(jī)功率輸出時,與精確的功率傳感器(例如Bird 4020系列)一起使用。 8921SC13不僅提供較低的VSWR,而且在臨界頻率下VSWR的VSWR總變化少于0.1 dB。由于校準(zhǔn)不同的時間長度,不需要負(fù)載熱身或重復(fù)性風(fēng)險。這可以大程度地減少與此校準(zhǔn)相關(guān)的錯誤,并控制更關(guān)鍵的過程變量之一。

  8921SC13型美國BIRD油射線RF終止負(fù)載產(chǎn)品規(guī)格如下:

電力等級5 kW頻率范圍和VSWRDC至28 MHz @ 1.1最大。

VSWR小于1.05:1阻抗ω50(名義)VSWR穩(wěn)定性<0.1 dB,穩(wěn)定頻率下的額定功率從0到100%穩(wěn)定頻率13.56 MHz±10 kHz連接器“ QC"類型LC(女性) - 通常提供互鎖熱開關(guān) - 可選通常關(guān)閉。在236°C(457°F)處打開熱開關(guān)等級115 VAC,10 A

230 VAC,5 A溫度范圍操作: +5至+40°C(+41至+104°F)

存儲: - 40至+45°C( - 40至40至+113°F)高度1520 m(5000英尺)濕度95%的無調(diào)最大。冷卻方法油介電和對流電流方面32.8“ x 9.5" x 26.9“

832 x 241 x 681 mm重量126磅。

57公斤結(jié)束黑色環(huán)氧樹脂

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