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    ls486cml520mmid329991-50sn21227光電掃描海德漢的大多數(shù)光柵尺采用光電掃描原理。光電掃描在工作中無接觸,因此無磨損。光電掃描可以檢測到非常細(xì)小的光柵,柵線寬度可僅數(shù)微米,并能輸出非常細(xì)小的信號周期信號。測量基準(zhǔn)的柵距越小,光電掃描的衍射現(xiàn)象越嚴(yán)重。海德漢直線光柵尺采用兩種掃描原理:?成像掃描原理用于20µm至大約40µm的柵距?干涉掃描原理用于更小柵距的光柵,例如,8µm。成像掃描原理簡單地說成像掃描原理是用透射光生成信號:兩個(gè)柵距相同或相近的光柵與掃描掩膜彼此相對運(yùn)
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