JXA-8230電子探針是一種利用電子束作用樣品后產(chǎn)生的特征X射線進行微區(qū)成分分析的儀器,可以用來分析薄片中礦物微區(qū)的化學組成。除H、He、Li、Be等幾個較輕元素外,還有U元素以后的元素以外都可進行定性和定量分析。電子探針的大批量是利用經(jīng)過加速和聚焦的極窄的電子束為探針,激發(fā)試樣中某一微小區(qū)域,使其發(fā)出特征X射線,測定該X射線的波長和強度,即可對該微區(qū)的元素作定性或定量分析。
JXA-8230電子探針的結(jié)構(gòu):
JXA-8230電子探針X射線顯微分析儀利用約1Pm的細焦電子束,在樣品表層微區(qū)內(nèi)激發(fā)元素的特征X射線,根據(jù)特征X射線的波長和強度,進行微區(qū)化學成分定性或定量分析。電子探針的光學系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等部分與掃描電鏡基本相同,通常也配有二次電子和背散射電子信號檢測器,同時兼有組織形貌和微區(qū)成分分析兩方面的功能。電子探針的構(gòu)成除了與掃描電鏡結(jié)構(gòu)相似的主機系統(tǒng)以外,還主要包括分光系統(tǒng)、檢測系統(tǒng)等部分。
JXA-8230電子探針主要由電子光學系統(tǒng),X射線譜儀和信息記錄顯示系統(tǒng)組成。電子探針和掃描電鏡在電子光學系統(tǒng)的構(gòu)造基本相同,它們常常組合成單一的儀器。
JXA-8230電子探針的優(yōu)點:
1、能進行微區(qū)分析:可分析數(shù)個μm3內(nèi)元素的成分。
2、能進行現(xiàn)場分析:無需把分析對象從樣品中取出,可直接對大塊試樣中的微小區(qū)域進行分析。把電子顯微鏡和電子探針結(jié)合,可把在顯微鏡下觀察到的顯微組織和元素成分聯(lián)系起來。
3、分析范圍廣:Z>4其中,波譜:Be—U,能譜:Na—U。

JXA-8230電子探針的功能及特色:
電子探針可以對試樣中微小區(qū)域的化學組成進行定性或定量分析。可以進行點、線掃描、面掃描分析。還能全自動進行批量定量分析。由于電子探針技術(shù)具有操作迅速簡便、實驗結(jié)果的解釋直截了當、分析過程不損壞樣品、測量準確度較高等優(yōu)點,故在冶金、地質(zhì)、電子材料、生物、醫(yī)學、考古以及其它領域中得到日益廣泛地應用,是礦物測試分析和樣品成分分析的重要工具。
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