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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
D07-11CM 氣體質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù):
| 產(chǎn)品型號 | D07-11CM |
| 產(chǎn)品類型 | 高耐壓型 |
| 流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
| 產(chǎn)品精度 | ±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±0.5％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) |
| 響應(yīng)時間 | ≤10sec |
| 工作溫度范圍 | (5~45)°C |
| 耐壓 | 10MPa |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
| 輸入輸出信號 | (0~5)VDC |
| 電源 | ±15V |
| 閥類型 | 無閥 |
| 溫度系數(shù) | - 無 - |
| 零點(diǎn)飄移指標(biāo) | - 無 - |
| 電氣連接 | D sub 15 pins Male |
| 工作壓差范圍 | ＜0.02 MPa |
| 漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He） |
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套1/8”(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,VCR1/4”,雙卡套1/4” |
| 表面化學(xué)成分 | - 無 - |
| 表面粗糙度 | - 無 - |
| 抗電磁干擾 | CE |
| 重量 | 1Kg |