等離子測試系統(tǒng)

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品牌
型號 CY-PLT30-A
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
所在地 鄭州市

屬性

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更新時間：2025-09-06 14:37:53瀏覽次數(shù)：137評價

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產(chǎn)品簡介

本設(shè)備為客戶定制等離子測試設(shè)備。設(shè)備主要部件為一個電感耦合的等離子發(fā)生器，發(fā)生器能夠在電感線圈內(nèi)部的石英管內(nèi)產(chǎn)生等離子體，石英管兩側(cè)的法蘭配有觀察窗，用戶可以在觀察窗上觀察實驗現(xiàn)象或者用其他儀器測量相關(guān)參數(shù)。設(shè)備采用觸控屏控制，屏幕集成所有實驗功能，如抽放真空、流量控制、射頻電源調(diào)節(jié)等。同時電感線圈采用水冷設(shè)計，外殼另有散熱風(fēng)扇，保證了整套設(shè)備長時間工作的穩(wěn)定性。該設(shè)備是高校實驗室進(jìn)行等離子體相關(guān)性質(zhì)研究的儀器。

詳細(xì)介紹

技術(shù)規(guī)格：

供電電壓	AC220V，50Hz
*大功率	1KW
耦合方式	電感耦合
石英腔體	O.Dφ30mm X 150mm 壁厚3.5mm
觀察窗尺寸	φ30mm
真空接口	KF16
進(jìn)氣口接口	6.35mm 卡套接頭
質(zhì)量流量計	Ar標(biāo)定量程100sccm
真空泵	雙極旋片真空泵
極限真空度	0.1Pa
冷卻方式	水冷銅管+風(fēng)冷殼體
射頻電源	*大輸出功率300W 自動匹配頻率13.56MHz
整機尺寸	560mm X 620mm X 620mm

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