目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>熱蒸發(fā)鍍膜儀>> CY-EVH300JJL-5-Q近距離有機物蒸發(fā)鍍膜爐
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
近距離有機物蒸發(fā)鍍膜爐是一種雙加熱區(qū)快速熱處理爐，具有11"外徑的石英管。它是專為PVD或CSS(近距離升華)薄膜涂層3英寸直徑或2"×2"。近距離有機物蒸發(fā)鍍膜爐采用兩組鹵素加熱器(頂部和底部)，zui大加熱速率20oC/s。兩個30段精密溫度控制器內置，精度為+/-1oC。包括RS485端口和控制軟件，允許通過PC操作爐子和溫度曲線記錄。它是研究新一代太陽能電池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和鈣鈦礦太陽能電池。
1、為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷裝置上。
2、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片（Φ76mm×0.5mm），使得樣品基片上的溫度更加均勻。
3、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上，用于盛放蒸發(fā)料。
4、真空法蘭通過兩個硅膠O型圈進行密封，通過機械泵其腔內真空度可達10-2torr，通過分子泵真空度可達10-5torr。
5、兩個真空法蘭都可以通過手動操作進行上下移動。
6、一個數(shù)字式真空顯示計安裝在法蘭頂部，可以準確測量腔內真空度。
產(chǎn)品名稱 | 5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐 | |
產(chǎn)品型號 | CY-EVH350JJL-5"-Q | |
樣品臺 | 外形尺寸 | 5"x5" |
轉速 | 1-20RPM | |
可調溫度 | ≦950℃ | |
熱蒸發(fā)源 | 20個紅外燈管作為加熱元件 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | 350 mm Dia x 300 mm h |
觀察窗口 | 100 mm | |
腔體材質 | 高純石英 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
膜厚測量 | 晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀） | |
真空系統(tǒng) | 配有一套分子泵系統(tǒng) | |
系統(tǒng)真空 | 1×10-5Pa | |
流量計 | 兩路浮子流量計 16 -160 mL/m 500 - 5000 mL/m | |
工作溫度 | 每個加熱器的*高溫度：RT-950℃。 兩個加熱器之間的*大溫差：<= 300oC 取決于兩個加熱器之間的間距：間距 30mm *大。 溫差：315oC @ 僅加熱底部 | |
溫控系統(tǒng) | 兩個精密的溫控系統(tǒng)分別獨立控制上下兩個加熱區(qū)，可設置30段升降溫程序 每個溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護 | |
水 冷 | 循環(huán)水冷機（KJ-5300型，16L/min) | |
控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級控制器 | |
其他參數(shù) | 供電電源 | 208V 60HZ 三相 |
整機尺寸 | 600mm×650mm×1500mm | |
本站產(chǎn)品介紹內容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術參數(shù)等)，僅供參考。可能由于更新不及時，會造成所述內容與實際情況存在一定的差異，請與本公司銷售人員聯(lián)系確認。本站提供的信息不構成任何要約或承諾，本公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知。
1
化工儀器網(wǎng)