目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>等離子清洗機(jī)>> CY-PC13.56M-2L-150Q實(shí)驗(yàn)室小型等離子清洗機(jī)
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
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實(shí)驗(yàn)室小型等離子清洗機(jī)主要特點(diǎn)：
1.使用各種氣體清洗和去除晶片上的納米級有機(jī)污染物，至多可容納2"。
2.涂層前預(yù)清洗單晶基板的優(yōu)良工具，可獲得更好的薄膜質(zhì)量。
3.鉸鏈?zhǔn)介T，便于樣品裝載。
4.3"直徑石英腔室，適用于清潔2"晶圓，可選配石英舟。
5.石英室內(nèi)的可移動(dòng)石英管易于清潔和更換。
實(shí)驗(yàn)室小型等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：
主要部件 | 指標(biāo)名稱 | 參數(shù)指標(biāo) |
清洗倉體 | 清洗倉材質(zhì) | 高純石英 |
清洗倉尺寸 | 直徑120mm;長度280mm | |
射頻電源 | 電源特性 | 該電源為全固態(tài)射頻電源，采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件，使產(chǎn)品的可靠性得以保證。 |
電源優(yōu)勢 | ● 可長時(shí)間正常運(yùn)行 ● 電源效率高、發(fā)熱少 | |
射頻功率 | 0~100W連續(xù)可調(diào)/0~150W連續(xù)可調(diào) | |
信號頻率 | 13.56MHz ±0.005% | |
反射功率 | ≤200W | |
功率穩(wěn)定度 | ±0.1% | |
射頻接頭 | N型頭 | |
整機(jī)效率 | ≥75% | |
諧波分量 | ≤-50 dBc | |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | |
氣體測量 | 測量部件 | 浮子流量計(jì) |
氣體通道 | 兩通道 | |
A通道量程 | 10～100ml | |
B通道量程 | 16～160ml | |
真空獲取 | 真空測量 | 數(shù)字真空計(jì)（電阻規(guī)） |
真空抽取 | 雙極旋片泵 | |
電機(jī)轉(zhuǎn)速 | 50Hz時(shí)為：1440；60Hz時(shí)為：1720。 | |
抽氣速率 | 50Hz時(shí)為：1.1L/s；60Hz時(shí)為：1.3L/s。 | |
真空量程 | 1Pa～100000Pa | |
極限真空1 | Pa | |
電機(jī)噪音 | ≤56dB | |
管道接口 | 進(jìn)氣口：KF16;排氣口KF16. | |
連接管道 | KF16真空波紋管 | |
真空閥門 | 電磁閥 | |
電機(jī)功率 | 400W | |
其它 | 供電電源 | AC220V 50/60Hz |
整機(jī)功率 | 1000W/1500W | |
使用溫度 | -10℃--40℃ | |
工作真空 | ≤40Pa | |
整機(jī)尺寸 | 540mm×650mm×600mm | |
整機(jī)重量 | 78kg |
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