2L半導(dǎo)體等離子體清洗設(shè)備

產(chǎn)品介紹：  

2L半導(dǎo)體等離子清洗設(shè)備13.56MHz采用純凈的石英腔體，主機(jī)頻率13.56MHz，可用于多種材料的高效清洗。清洗效果遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于40KHz的低頻清洗。臺(tái)式高效等離子清洗機(jī)可用于手機(jī)屏幕、儀表屏幕等精密部件的高效清洗，也可用于材料表面的親水性處理。2L等離子清洗機(jī)13.56MHz是材料制備過(guò)程中****的理想產(chǎn)品。  

使用范圍：  

（1）表面清洗  

材料表面嘗嘗會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層，在粘合、焊接前，需要用等離子處理來(lái)得到潔凈和無(wú)氧化層的表面。適用于金屬、玻璃、陶瓷燈多種材料。  

（2）表面活化  

塑料、玻璃、陶瓷與聚乙烯（PE）、聚丙烯（PP）、聚四氟（PTFE）等一樣是沒(méi)有極性的，因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進(jìn)行處理。在惰性材料表面生成活性基團(tuán)，增強(qiáng)表面極性，提高表面能。等離子處理與灼燒處理相比，不會(huì)損害樣品，同時(shí)還可以十分均勻地處理整個(gè)表面，不會(huì)產(chǎn)生有毒煙氣，盲孔和帶縫隙的樣品也可以處理。

（3）表面刻蝕  

      在等離子刻蝕過(guò)程中，通過(guò)處理　氣體的作用，被刻蝕物會(huì)變成氣化物（例如在使用氟氣對(duì)硅刻蝕時(shí)）。處理　氣體和基體氣化物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續(xù)被新鮮的處理　氣體覆蓋。無(wú)需刻蝕部分應(yīng)使用相應(yīng)材料覆蓋起來(lái)（例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料。）  

（4）表面接枝與聚合  

      在等離子體表面活化產(chǎn)生的基團(tuán)或等離子體引發(fā)聚合層不能與材料表面牢固結(jié)合時(shí)，采用等離子體接枝的方法來(lái)改善。等離子體接枝的原理為：首先利用表面活化在材料表面產(chǎn)生新的活性基團(tuán)，利用此基團(tuán)與后續(xù)的活性物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)共價(jià)鍵結(jié)合，后續(xù)的活性物質(zhì)中帶有能夠滿足應(yīng)用的特定基團(tuán)，以達(dá)到既能滿足表面特性又能牢固結(jié)合的目的。  

產(chǎn)品特點(diǎn)：  

1) 采用觸摸屏控制，輸出功率連續(xù)可調(diào)；
2) 可實(shí)現(xiàn)定時(shí)關(guān)機(jī)；
3) 實(shí)時(shí)真空壓力檢測(cè)；
4) 輸出功率實(shí)時(shí)檢測(cè)，無(wú)輸出報(bào)警。  

主要參數(shù)：  

等離子體產(chǎn)生原理：  

在真空狀態(tài)下（約10~100Pa）,給氣體施加電場(chǎng)，氣體在電場(chǎng)提供的能量下會(huì)由氣態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榈入x子體狀態(tài)（也成物質(zhì)的第四態(tài)）。其中含有大量的電子、離子、光子和各類自由基等活性粒子。等離子體表面改性技術(shù)就是利用這些高能粒子和活性粒子與材料表面發(fā)生物理或化學(xué)的反應(yīng)，從而達(dá)到改變材料表面性質(zhì)的目的。  

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