目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>熱蒸發(fā)鍍膜儀>> CY-EVH300-III-HHH-SS三源高真空蒸發(fā)鍍膜機
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
三源高真空蒸發(fā)鍍膜機，設(shè)備采用前開門式真空腔體設(shè)計，腔體空間大，可拓展性強，能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發(fā)鍍膜。腔體內(nèi)配有上置樣品臺，可根據(jù)用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉(zhuǎn)、加熱，所有操作均通過觸控屏集成控制。設(shè)備的真空泵組為兩級式真空系統(tǒng)，由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成，可為真空鍍膜試驗提供清潔無油的高真空的環(huán)境；真空系統(tǒng)內(nèi)含有完善的氣動閥系統(tǒng)，用戶可通過觸控屏進行一鍵式操作實現(xiàn)抽取真空、不停機取放樣、停機等操作。
本設(shè)備的蒸發(fā)源共三組，采取鎢舟蒸發(fā)源，水冷式銅電極，可*大支持260A的大電流，加熱溫度*高可達1800℃，可實現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍，三組獨立熱蒸發(fā)源，不會導(dǎo)致鍍材互相污染。本設(shè)備采用一體化設(shè)計，腔體和電控部分左右分置，實現(xiàn)了水電分離，有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結(jié)合的設(shè)計，真空系統(tǒng)、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作，通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過面板獨立操作，在盡可能方便用戶的同時規(guī)避了誤操作的可能。該設(shè)備設(shè)計完善性能，是實驗室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗的之選。
金屬和介電膜
薄膜傳感器的制造
光學(xué)元件
納米與微電子
太陽能電池
| 產(chǎn)品名稱 | 三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀 | |
| 產(chǎn)品型號 | CY-EVH300-III-HHH-SS | |
| 樣品臺 | 外形尺寸 | 直徑φ150mm |
| 可調(diào)溫度 | ≦500℃ | |
| 熱蒸發(fā)源 | 金屬蒸發(fā)源鎢舟3個 | |
| 蒸發(fā)電源 | 每個蒸發(fā)源配一組獨立電源；三個蒸發(fā)源可同時共蒸 | |
| 真空腔體 | 腔體尺寸 | 直徑φ300mm，高度400mm |
| 觀察窗口 | 直徑φ100mm | |
| 腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 | |
| 開啟方式 | 前開門式 | |
| 膜厚測量 | 晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀） | |
| 真空系統(tǒng) | 前級泵 | 雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S |
| 次級泵 | 渦輪分子泵,氣體抽速600L/S | |
| 真空測量 | 復(fù)合真空計(電離規(guī)+電阻規(guī)) | |
| 系統(tǒng)真空 | 5×10-4Pa | |
| 控制系統(tǒng) | CYKY自研專業(yè)級控制器 | |
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其他參數(shù) | 供電電源 | AC380V,50Hz |
| 整機尺寸 | 1000mm×800mm×1500mm | |
| 整機功率 | 7KW | |
| 整機重量 | 350kg | |
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