多通道膜厚監(jiān)控儀

一、技術特點：

      1.多達六路探頭可同時監(jiān)控，每路自由設置，既能獨立運行，也可聯(lián)合工作。

      2.每路二組繼電器輸出，到達設置厚度自動關閉擋板/蒸發(fā)源；

      3.全觸摸屏操作顯示，簡單易用；

      4.提供RS232/RS485接口，MODBUS RTU標準協(xié)議，多波特率可選，并配有專用控制軟件。

二、應用范圍：

       適用于普通蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測量，特別適合多蒸發(fā)源鍍膜機和多腔室鍍膜機進行膜層監(jiān)控；

膜厚監(jiān)控儀的控制和顯示均通過觸摸屏實現(xiàn)，使您能獲取完整的沉積數(shù)據(jù)，包括速率、厚度和鍍膜時間等。

三、主要參數(shù)：

四、特殊功能：

（1）任意設置每一路的工作狀態(tài)，具有人工停止鍍膜功能；  

（2）可顯示鍍膜層、材料和使用晶體振蕩頻率百分比；

（3）顯示鍍膜結束后的監(jiān)測厚度、晶振頻率、材料和層次。