光學(xué)平臺廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、精密機(jī)械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和無損檢測等領(lǐng)域，以及其他機(jī)械行業(yè)的精密試驗(yàn)儀器、設(shè)備振動隔離的關(guān)鍵裝置中，其動態(tài)力學(xué)特性的好壞直接影響試驗(yàn)結(jié)果的性和可靠性。儀器設(shè)備的微振動直接影響精密儀器設(shè)備的測量精度。隨著精密隔振要求的提升，需要不斷提高光學(xué)平臺的振動隔離技術(shù)。
隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)需要考慮的環(huán)境微振動干擾是復(fù)雜的，包括：大型建筑物本身的擺動、地面或樓層間傳來的振動、電動儀器和設(shè)備的振動、各類機(jī)械振動、聲音引起的振動、外界街道交通引起的振動，甚至包括人員走動所引起的振動等。
光學(xué)平臺的選擇對于提升實(shí)驗(yàn)精度，起著至關(guān)重要的作用?？傮w上說，光學(xué)平臺的隔振，通過三個方面來實(shí)現(xiàn)：
• 隔振支架：通常來說，氣浮式隔振支架性能優(yōu)于阻尼式隔振支架，部分性能的隔振支架可以將外界振動（常見10～200Hz）減少一至兩個數(shù)量級
• 臺面物理性能：要求臺面有一定的剛性而且較輕（硬重比），這樣的臺面可以有效減少共振時的振幅，這一點(diǎn)在后面闡述
• 臺面內(nèi)部結(jié)構(gòu)：臺面的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，除了負(fù)責(zé)減輕支架未能消除的外界振動外對于降低或消除因臺面上的沖擊和相對運(yùn)動引起的振動，起到至關(guān)重要的作用
的光學(xué)平臺不僅需要高精度的機(jī)器設(shè)備來加工，更需要有高科技精度的檢測手段與檢測儀器來，也只有的光學(xué)平臺才能高精度的科學(xué)實(shí)驗(yàn)、科學(xué)研究的正常進(jìn)行。
STACIS III是一種靈活的主動隔振系統(tǒng)。STACIS采用的慣性振動傳感器、控制算法和壓電致動器，通過連續(xù)測量地面活動，然后擴(kuò)展和收縮壓電致動器來過濾地面運(yùn)動，以實(shí)時消除振動。STACIS III包括一個的改進(jìn)型數(shù)字控制器DC-2020。這款的控制系統(tǒng)在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網(wǎng)以及USB串行端口，為用戶提供了現(xiàn)代化且易于使用的圖形用戶界面（GUI）。被設(shè)計(jì)用于隔離半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計(jì)量和檢測設(shè)備，現(xiàn)已成為嘈雜環(huán)境（包括但不限于半導(dǎo)體工廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究中心）中敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案。
