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日本NGK半導(dǎo)體行業(yè)用靜電Chuck產(chǎn)品介紹
閱讀：52 發(fā)布時間：2025-5-12概述
它在強度，熱傳導(dǎo)和熱量沖擊方面表現(xiàn)出色。我們的音量阻力控制技術(shù)允許廣泛的溫度范圍。
特征
廣泛的溫度支持范圍（-50至700℃）
它具有高強度，高熱電導(dǎo)率和高熱沖擊性。陶瓷用作介電底物，音量電阻率控制允許多種低溫，中和高溫。
耐腐蝕性
它具有好的對鹵素氣體（例如氟基氣）的耐腐蝕性。
晶片背面的低粒子加工
通過表面處理和特殊清潔，它可以達到低粒徑。
高純度
它可以適應(yīng)99.9％或更多的純度。
功能
除了晶圓吸附函數(shù)外，Nippon Gaishi的靜電Chuck還可以添加各種功能。
加熱
高度精確的加熱元件掩埋技術(shù)使與陶瓷加熱器集成成為可能，從而達到晶圓表面溫度以下±1％。
冷卻
通過將陶瓷板粘合并連接給冷卻板的陶瓷板，它具有高的冷卻性能。
RF電流兼容的散裝電極
散裝電極同時提供了晶圓和RF等離子體產(chǎn)生的簡單穩(wěn)定的吸附。
規(guī)格
| 尺寸 | 與200mm，300mm和450mm晶片兼容 |
|---|---|
| 吸附機制 | （Aln），庫侖 （AL2O3） |
| 電極形狀 | 雙極或單極 |
Aln的材料特性
[典型價值]
| 氮化鋁 | ||||
|---|---|---|---|---|
| HA-12 | HA-37/38 | HA-50/51 | ||
| 純度 | （％） | 95 | 99 | 99 |
| 密度 | [g/cc] | 3.3 | 3.3 | 3.3 |
| 音量電阻率 | [ωCM]（RT） | > 1E+15 | 1E+8?+13 | > 1E+15 |
| 導(dǎo)熱率 | [W/MK]（RT） | 170 | 100 | 80 |
| 熱擴展系統(tǒng)的數(shù)量 | （RT） | 5.7（1000℃） | 5.6（1000℃） | 5.6（1000℃） |
| 力量 | [MPA]（RT） | > 300 | > 300 | > 250 |
| 年輕的速度 | [GPA]（RT） | 300 | 300 | 300 |
| 介電常數(shù) | （13.56MHz，RT） | 8.6 | 8.8 | 8.6 |