目錄:北京儀光科技有限公司>>激光干涉儀>>Zygo激光干涉儀>> ZYGO白光干涉儀：高精度表面輪廓測量
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,建材/家具,汽車及零部件,綜合 |
ZYGO白光干涉光學(xué)輪廓儀 ZYGO白光干涉儀ZYGO白光干涉儀采用非接觸式測量技術(shù)，適用于多種材料表面的三維形貌測量。其非接觸式測量方式避免了對樣品的物理損傷，適用于多種材料和復(fù)雜表面的測量。設(shè)備支持多種樣品臺和自動聚焦功能，便于靈活調(diào)整測量參數(shù) ZYGO白光干涉儀：高精度表面輪廓測量
產(chǎn)品性能
•測量范圍：0.1nm至10mm（垂直方向）
•橫向分辨率：最高可達(dá)0.5μm
•重復(fù)性：優(yōu)于0.1%
•支持多種測量模式：臺階高度、粗糙度、薄膜厚度等
用材與結(jié)構(gòu)
儀器主體采用高穩(wěn)定性鋁合金框架，光學(xué)部件選用低熱膨脹系數(shù)玻璃，確保長期測量穩(wěn)定性。載物臺采用防震設(shè)計(jì)，減少環(huán)境振動干擾。
參數(shù)表
型號 | 垂直分辨率 | 最大掃描范圍 | 適用樣品 |
|---|---|---|---|
ZYGO-200 | 0.1nm | 1mm | 光滑表面、薄膜 |
ZYGO-500 | 0.2nm | 10mm | 粗糙表面、微結(jié)構(gòu) |
用途
•半導(dǎo)體晶圓檢測
•光學(xué)鏡面質(zhì)量分析
•MEMS器件形貌測量
•精密機(jī)械加工表面評估
ZYGO白光干涉儀：高精度表面輪廓測量 ZYGO白光干涉光學(xué)輪廓儀
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