Sensofar多技術(shù)融合的表面形貌測量新選擇

在科研與工業(yè)制造領(lǐng)域，表面形貌的精確測量是提升產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。Sensofar S neox三維共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀憑借其四合一測量技術(shù)，成為多場景應(yīng)用的理想工具。該設(shè)備在傳感器頭內(nèi)集成干涉、共聚焦、AI多焦面疊加及膜厚測量技術(shù)，用戶僅需一鍵操作即可自動切換適配模式。例如，在半導(dǎo)體制造中，共聚焦模式可實現(xiàn)芯片表面微納結(jié)構(gòu)的高橫向分辨率測量，而干涉模式則適用于光學(xué)鏡片平整度的納米級縱向檢測。Sensofar多技術(shù)融合的表面形貌測量新選擇

設(shè)備采用模塊化設(shè)計，提供5×、20×、100×共聚焦物鏡與10×、20×干涉物鏡組合，支持從微米級到亞納米級的表面細(xì)節(jié)捕捉。其核心部件包括高速高分辨率黑白CCD攝像頭（2442×2048像素，60fps）與彩色攝像頭，配合無運動部件的測量頭設(shè)計，確保長期穩(wěn)定性與重復(fù)性。數(shù)據(jù)顯示，S neox的Z軸掃描范圍達(dá)0.1nm-34mm，橫向分辨率至0.10μm，垂直分辨率0.1nm，數(shù)據(jù)采集速度達(dá)180幀/秒，典型三維圖像獲取僅需3秒，大幅縮短檢測周期。

參數(shù)表

S neox適用于微電子、醫(yī)療設(shè)備、古生物學(xué)等領(lǐng)域，支持ISO 25178與ISO 4287標(biāo)準(zhǔn)粗糙度測量。其配套的SensoSCAN與SensoVIEW軟件提供2D/3D視圖切換、關(guān)鍵尺寸標(biāo)注及智能編程功能，用戶可通過電動鼻輪快速切換物鏡，簡化操作流程。

文章二：Sensofar S lynx：靈活高效的小型化3D測量解決方案

針對實驗室與中小型企業(yè)的空間與預(yù)算限制，Sensofar推出S lynx經(jīng)濟(jì)型三維共聚焦白光干涉輪廓儀。該設(shè)備延續(xù)品牌核心技術(shù)，將共聚焦、干涉與相位差干涉模式集成于緊湊機身，無需硬件插拔即可通過軟件切換測量模式，降低用戶成本。其設(shè)計簡潔但功能多樣，可測量金屬、陶瓷、聚合物等材質(zhì)的表面粗糙度與波度，覆蓋從光滑到粗糙的各類形貌。

S lynx配備500萬像素相機與高亮度LED光源，支持0.1nm垂直分辨率與0.10μm橫向分辨率，掃描速度達(dá)毫米級每秒，適合快速檢測工件與模具。設(shè)備采用無限遠(yuǎn)光學(xué)成像系統(tǒng)，結(jié)合微顯示器掃描共聚焦技術(shù)，通過多狹縫圖像偏移算法提升數(shù)據(jù)采集效率，減少系統(tǒng)噪聲至1nm以下。其XY平臺行程為50mm×50mm，可容納重量≤10kg的樣品，滿足小批量生產(chǎn)需求。

應(yīng)用場景

• 消費電子：檢測手機玻璃蓋板表面劃痕與平整度

• 汽車制造：分析發(fā)動機葉片磨損與涂層均勻性

• 材料研究：表征金屬疲勞裂紋擴(kuò)展路徑

用戶可通過SensoSCAN軟件實現(xiàn)自動對焦、照明優(yōu)化與多級掃描范圍調(diào)整，軟件內(nèi)置尺寸標(biāo)注、形狀去除與濾波分析工具，支持生成標(biāo)準(zhǔn)化分析模板。設(shè)備提供長焦鏡頭與水鏡等可選配件，進(jìn)一步擴(kuò)展測量靈活性。Sensofar多技術(shù)融合的表面形貌測量新選擇