目錄:北京儀光科技有限公司>>激光干涉儀>>Zygo激光干涉儀>> Zygo NewView 9000zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品特點(diǎn)與應(yīng)用?
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更新時(shí)間：2025-10-21 17:45:03瀏覽次數(shù)：236評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,建材/家具,汽車(chē)及零部件,綜合 |
Zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀是一種用于表面形貌測(cè)量的高分辨率儀器，適用于微納尺度結(jié)構(gòu)的檢測(cè)與分析。該設(shè)備采用非接觸式測(cè)量方式，適用于半導(dǎo)體、光學(xué)元件、精密加工等領(lǐng)域。zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品特點(diǎn)與應(yīng)用 激光干涉儀 Zygo NewView 9000
ZYGO/翟科
產(chǎn)品細(xì)節(jié)與性能
Zygo白光干涉儀基于白光干涉原理，能夠測(cè)量表面粗糙度、臺(tái)階高度、薄膜厚度等參數(shù)。其垂直分辨率可達(dá)亞納米級(jí)，水平分辨率則取決于物鏡的放大倍數(shù)。設(shè)備支持多種測(cè)量模式，包括相位掃描、垂直掃描和三維形貌重建。
用材與結(jié)構(gòu)
儀器主體采用高穩(wěn)定性材料，光學(xué)部件選用高質(zhì)量透鏡和反射鏡，確保長(zhǎng)期使用的穩(wěn)定性。干涉儀的光源采用白光LED或鹵素?zé)?，可根?jù)需求調(diào)整波長(zhǎng)范圍。
參數(shù)表（示例型號(hào)：Zygo NewView 9000）
•垂直分辨率：<0.1 nm
•水平分辨率：0.5 μm（視物鏡而定）
•測(cè)量范圍：0.1 nm 至 10 mm
•掃描速度：≤1 秒/幀
•支持樣品尺寸：最大 200 mm
用途
適用于半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)、MEMS器件測(cè)量、光學(xué)鏡面拋光評(píng)估、精密機(jī)械加工表面分析等。
使用說(shuō)明
1.開(kāi)機(jī)預(yù)熱10分鐘，確保系統(tǒng)穩(wěn)定。
2.選擇合適物鏡并校準(zhǔn)參考鏡。
3.放置樣品，調(diào)整焦距至干涉條紋清晰。
4.啟動(dòng)測(cè)量軟件，選擇掃描模式并開(kāi)始采集數(shù)據(jù)。
5.分析結(jié)果并導(dǎo)出報(bào)告。
zygo白光干涉光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品特點(diǎn)與應(yīng)用 激光干涉儀
ZYGO/翟科
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