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目錄:北京儀光科技有限公司>>三維光學(xué)輪廓儀>>Sensofar>> S neoxSensofar 光學(xué)輪廓儀 :理解數(shù)據(jù)背后的意義

Sensofar 光學(xué)輪廓儀 :理解數(shù)據(jù)背后的意義

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更新時(shí)間:2025-10-23 10:29:16瀏覽次數(shù):68評(píng)價(jià)

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Sensofar 光學(xué)輪廓儀 :理解數(shù)據(jù)背后的意義
S neox 的各項(xiàng)參數(shù)不僅是設(shè)備性能的體現(xiàn),更與實(shí)際測(cè)量需求緊密相關(guān),理解參數(shù)含義能幫助用戶(hù)更好地選擇測(cè)量模式與設(shè)置參數(shù)。

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S neox 的各項(xiàng)參數(shù)不僅是設(shè)備性能的體現(xiàn),更與實(shí)際測(cè)量需求緊密相關(guān),理解參數(shù)含義能幫助用戶(hù)更好地選擇測(cè)量模式與設(shè)置參數(shù)。橫向分辨率作為關(guān)鍵參數(shù)之一,在 100x 物鏡下為 0.12μm,該參數(shù)代表設(shè)備能分辨的樣品表面最小橫向特征尺寸,例如在檢測(cè)半導(dǎo)體芯片線路時(shí),0.12μm 的橫向分辨率可清晰呈現(xiàn)線寬為 0.2μm 的線路結(jié)構(gòu),滿(mǎn)足精細(xì)線路的檢測(cè)需求;若選用 2.5x 物鏡,橫向分辨率為 4.8μm,適合大尺寸樣品的快速掃描與宏觀輪廓觀察。
縱向分辨率 0.1nm(白光干涉模式)代表設(shè)備對(duì)樣品表面高度變化的最小探測(cè)能力,該參數(shù)在超光滑表面測(cè)量中尤為重要,如測(cè)量光學(xué)鏡片的面型誤差時(shí),0.1nm 的縱向分辨率可捕捉納米級(jí)的面型起伏,為鏡片加工精度評(píng)估提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù);而在粗糙表面測(cè)量中,可適當(dāng)降低縱向分辨率要求,通過(guò)提升掃描速度提高檢測(cè)效率。


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掃描深度參數(shù)(單次最大 8mm,多焦面疊加模式)決定了設(shè)備可測(cè)量的樣品表面高度范圍,對(duì)于表面起伏較大的樣品,如模具型腔、增材制造零件,8mm 的掃描深度能完整覆蓋樣品表面的高度變化,無(wú)需分區(qū)域多次掃描,減少拼接誤差;若樣品表面較為平整,如半導(dǎo)體晶圓,可選擇較小的掃描深度,縮短測(cè)量時(shí)間。傳感器幀率 180 幀 / 秒代表設(shè)備每秒采集圖像的數(shù)量,高幀率適合動(dòng)態(tài)過(guò)程監(jiān)測(cè),如觀察液體蒸發(fā)過(guò)程中樣品表面的形貌變化,能捕捉到快速變化的細(xì)節(jié);在靜態(tài)樣品測(cè)量中,可降低幀率以減少數(shù)據(jù)量,提升數(shù)據(jù)處理速度。
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