目錄:北京儀光科技有限公司>>激光干涉儀>>ZYGO光學(xué)輪廓儀>> ZeGage ProZYGO 3D光學(xué)輪廓儀的核心技術(shù)與工作原理
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更新時(shí)間：2025-10-23 15:12:54瀏覽次數(shù)：60評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,建材/家具,汽車及零部件,綜合 |
ZeGage Pro的核心技術(shù)是相移干涉和相干掃描干涉術(shù)。這是一種通過(guò)光波的干涉現(xiàn)象來(lái)探測(cè)表面微觀形貌的技術(shù)。理解其工作原理，有助于用戶更好地操作儀器并獲得可靠的測(cè)量數(shù)據(jù)。
當(dāng)儀器內(nèi)部的光源發(fā)出的光束通過(guò)分光鏡后，被分為兩路：一路射向參考鏡，另一路射向被測(cè)樣品表面。兩束光反射回來(lái)后相遇，由于光程的差異，會(huì)產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。如果樣品表面存在高低起伏，那么對(duì)應(yīng)點(diǎn)的光程差就會(huì)發(fā)生變化，從而導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)。ZeGage Pro的探測(cè)器會(huì)記錄下在整個(gè)掃描過(guò)程中每一像素點(diǎn)的光強(qiáng)隨掃描位置變化的信號(hào)，即干涉信號(hào)。
通過(guò)對(duì)每個(gè)像素點(diǎn)的干涉信號(hào)進(jìn)行算法處理，可以精確地確定出該點(diǎn)光強(qiáng)最大時(shí)所對(duì)應(yīng)的掃描位置，從而計(jì)算出該點(diǎn)相對(duì)于參考鏡的高度。最終，將所有像素點(diǎn)的高度信息組合起來(lái)，就構(gòu)成了樣品表面的三維形貌圖。這種方法的測(cè)量精度與光源的波長(zhǎng)緊密相關(guān)，因此能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)別的垂直分辨率。
ZeGage Pro在設(shè)計(jì)上考慮了測(cè)量的便利性。它內(nèi)置了PZT（壓電陶瓷 transducer）掃描器，能夠以較高的重復(fù)性進(jìn)行精密的垂直掃描。同時(shí)，儀器集成了自動(dòng)光強(qiáng)控制功能，可以根據(jù)樣品反射率的差異自動(dòng)調(diào)整光源亮度，避免信號(hào)過(guò)飽和或不足，從而擴(kuò)展了可測(cè)樣品的范圍，從高反光金屬到低反光黑色材料均可適應(yīng)。
這種非接觸的測(cè)量方式不會(huì)對(duì)樣品表面造成劃傷或污染，對(duì)于柔軟、易損或珍貴的樣品而言，是一種合適的測(cè)量選擇。此外，由于測(cè)量速度快，可以在短時(shí)間內(nèi)完成大面積掃描，有助于提高檢測(cè)效率。了解其技術(shù)原理，用戶就能理解為何在測(cè)量前需要進(jìn)行光強(qiáng)調(diào)整、為何要選擇適當(dāng)?shù)膾呙璺秶?，從而在操作中做出合理的參?shù)設(shè)置。
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