Sensofar共聚焦白光干涉輪廓儀適用薄膜檢測

該模塊能測量 10nm 至 20μm 的透明薄膜，厚度分辨率達(dá) 0.1nm，橫向分辨率可達(dá) 5μm。單次檢測耗時不到 1 秒，適合批量薄膜樣品的快速篩查。支持 1 至 10 層的多層薄膜測量，能清晰區(qū)分各層厚度，滿足復(fù)合薄膜檢測需求。測量數(shù)據(jù)重復(fù)性良好，多次檢測同一位置的偏差可忽略不計(jì)。

光學(xué)鏡頭針對薄膜檢測的光譜范圍優(yōu)化了鍍膜工藝，在可見光至近紅外波段保持高透光率。探測器選用高靈敏度型號，能捕捉微弱的薄膜干涉信號，減少測量誤差。設(shè)備內(nèi)部采用溫度補(bǔ)償設(shè)計(jì)，避免環(huán)境溫度變化影響光譜分析精度，保障檢測穩(wěn)定性。

以透明薄膜厚度檢測為例：1. 將薄膜樣品平鋪在檢測平臺上，確保表面無褶皺；2. 打開軟件，選擇 “薄膜檢測" 模塊，設(shè)置單層 / 多層模式；3. 點(diǎn)擊 “掃描"，設(shè)備快速采集干涉光譜并進(jìn)行分析；4. 1 秒內(nèi)生成厚度數(shù)據(jù)，可導(dǎo)出 Excel 格式存檔。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜、光學(xué)薄膜、醫(yī)用薄膜等領(lǐng)域，可檢測薄膜厚度均勻性、折射率等關(guān)鍵參數(shù)。

S neox 的光譜反射法模塊，以快速、非破壞性的優(yōu)勢，成為薄膜檢測的理想選擇。