sensofar共聚焦與白光干涉的技術(shù)融合

共聚焦光學(xué)輪廓儀是現(xiàn)代工業(yè)檢測和科學(xué)研究中用于表面形貌分析的一種工具。Sensofar S neox作為這類設(shè)備的一種，將共聚焦顯微技術(shù)與白光干涉技術(shù)結(jié)合在一起，為用戶提供了表面測量的另一種選擇。

共聚焦技術(shù)的基本原理是通過空間濾波器消除離焦光線的干擾，只接收焦點(diǎn)處的反射光信號。這種方式可能提高圖像的對比度和分辨率。Sensofar S neox采用的共聚焦系統(tǒng)，其橫向分辨率可以達(dá)到0.10微米，這樣的分辨率水平可能滿足大多數(shù)微觀結(jié)構(gòu)觀察的需求。

白光干涉技術(shù)是另一種表面形貌測量方法。它通過分析參考光和測量光之間的干涉信號來重建表面三維形貌。Sensofar S neox在這一技術(shù)基礎(chǔ)上，將兩種測量模式集成在同一平臺上，用戶可以根據(jù)樣品特性選擇合適的測量方式。

Sensofar S neox的設(shè)計特點(diǎn)之一是無運(yùn)動部件的掃描頭。傳統(tǒng)共聚焦顯微鏡通常包含高速運(yùn)動的機(jī)械部件，而S neox采用微型程控顯示掃描共焦技術(shù)，使用基于鐵電液晶的微顯示器替代機(jī)械運(yùn)動。這種設(shè)計可能降低設(shè)備運(yùn)行時的振動，同時對設(shè)備使用壽命可能有積極影響。

在測量速度方面，S neox的數(shù)據(jù)采集速度可達(dá)180幀/秒。這樣的采集速度可能使單次三維圖像獲取時間縮短至幾秒，對于需要大量樣品檢測的環(huán)境，這一特點(diǎn)可能提高工作效率。

設(shè)備的易用性也值得關(guān)注。S neox允許用戶通過軟件界面在不同測量模式間切換，無需更換硬件。對于需要處理多種類型樣品的用戶，這種操作上的簡便性可能減少設(shè)備調(diào)整時間。

校準(zhǔn)和可追溯性是測量設(shè)備的重要方面。S neox使用符合ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)的可追溯標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行校準(zhǔn)，這可能有助于用戶建立可靠的測量基準(zhǔn)。

總的來說，共聚焦光學(xué)輪廓儀技術(shù)仍在不斷發(fā)展中。Sensofar S neox作為這類設(shè)備的一種，其技術(shù)特點(diǎn)和設(shè)計思路可能為有表面測量需求的用戶提供一種選擇。隨著技術(shù)進(jìn)步，這類設(shè)備可能會在更多領(lǐng)域找到應(yīng)用空間。