S neox針對光學元件檢測配備專屬附件,包括0.65X Michelson物鏡,能以大視野快速測量平面度。機身采用防光干擾設計,外殼啞光處理減少雜散光,內部光學通道經過遮光優(yōu)化。檢測平臺配備真空吸附裝置,可穩(wěn)固固定透鏡、棱鏡等光滑樣品,避免夾持變形。軟件內置光學元件專用模板,包含曲率半徑、面型誤差等參數的一鍵分析功能。
二、性能聚焦:面型與粗糙度精準捕捉
干涉模式下的 PSI 技術能實現亞納米級縱向分辨率,搭配低倍率物鏡可在大視野下保持高精度,適合透鏡面型檢測。共聚焦模式配合 150x 高倍率物鏡,能測量光學表面>70° 的局部斜面。針對高反射樣品,采用抗反射涂層鏡頭,減少光線反射干擾,提升成像質量。檢測數據符合 ISO 12775 標準,可直接用于光學元件質量評估。