Sensofar三維光學輪廓儀多技術(shù)融合測量平臺

Sensofar S neox 0.65X白光干涉儀不只是一臺單一功能的測量設(shè)備，它創(chuàng)新性地將多種光學測量技術(shù)融合在一個平臺。這種集成設(shè)計讓用戶無需更換硬件，就能根據(jù)樣品特性選擇適合的測量模式，大大提升了設(shè)備的適用性和工作效率。

白光干涉測量模式是這款設(shè)備的核心功能之一。該技術(shù)使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度，達到納米級的高度分辨率。它基于白光短相干特性，分光鏡將光源分為參考光與測量光，反射后合并產(chǎn)生干涉條紋，系統(tǒng)通過垂直掃描捕捉信號重建形貌。

共聚焦模式則提供了較高的橫向分辨率。該技術(shù)可以用來測量各類樣品表面的形貌。當需要測量局部斜率較大的表面時，共聚焦模式能夠保持測量的穩(wěn)定性。

Ai多焦面疊加模式專為測量非常粗糙的表面形貌而設(shè)計。該技術(shù)的亮點包括較快的掃描速度、較大的掃描范圍和支援斜率大的表面。此功能對工件和模具測量特別有用。

這些測量模式之間的切換十分簡便。用戶無需插拔任何硬件就可以在軟件內(nèi)自動實現(xiàn)不同模式的切換，使客戶無需花費高昂的費用就能同時擁有多種測量設(shè)備的功能。

核心參數(shù)表

多技術(shù)的融合使S neox 0.65X能適應(yīng)多種表面類型的測量需求。Sensofar三維光學輪廓儀多技術(shù)融合測量平臺