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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
DN系列探針臺(tái)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
顯微鏡具備高剛性龍門支架且搭配氣動(dòng)升降，保證高質(zhì)量光學(xué)成像質(zhì)量。
卡盤同時(shí)具備快速和微調(diào)升降，便于樣品和探針快速分離，也可以用于探針卡的扎針。
可升級(jí)性強(qiáng)，最高可升級(jí) 220G 高頻，也可以集成光電流掃描成像或拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像系統(tǒng)等。
DN系列探針臺(tái)詳細(xì)參數(shù)：
技術(shù)參數(shù) 產(chǎn)品型號(hào) | DN-4 | DN-6 | DN-8 | DN-12 | |
探針臺(tái)本體 | 整機(jī)尺寸（mm） | 600L*600W*620H | 650L*650W*620H | 700L*700W*620H | 750L*750W*620H |
重量 | 50kg | 60kg | 80kg | 120kg | |
自適應(yīng)減震系統(tǒng) | 具備自適應(yīng)減震系統(tǒng) ， 一定程度上可防止外界震動(dòng)的干擾。 | ||||
卡盤大小 | 4" ,360度轉(zhuǎn)動(dòng), 可微調(diào) | 6"，360 度轉(zhuǎn)動(dòng) ，可微調(diào) | 8",360 度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) | 12",360 度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào) | |
卡盤行程和精度 | 4"*4" ，精度 10um | 6"*6" ，精度 10um | 8"*8" ，精度 10um | 12"*12 ，精度 10um | |
卡盤升降功能 | Chuck可以上下快速升降 5mm 和微調(diào)升降 5mm ，精度 1 微米(使用探針卡的時(shí)候使用) | ||||
卡盤吸附方式 | 真空吸附 ， 可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附 （適用于薄片） | ||||
背電極測(cè)試功能 | 具備 ， 樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空 ， 帶 4mm 香蕉頭插口 | ||||
針座平臺(tái) | 材質(zhì) | U 型平臺(tái) ，鍍鎳 ，與探針座之間具備更強(qiáng)吸附力 | |||
大小 | 最多可放置4~6個(gè)探針座 | 最多可放置8~10個(gè)探針座 | |||
顯示系統(tǒng) | 顯微鏡成像系統(tǒng) | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD 成像系統(tǒng) | |||
倍率范圍 | 16X~100X/60X~420X/20X~4000X | ||||
顯微鏡行程 | 具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu) ， XYZ 行程分別為 2 英寸*2 英寸*2 英寸 ， 精度 1um | ||||
CCD 成像系統(tǒng) | 200 萬(wàn)/500萬(wàn)像素 ，幀率 60fps，帶拍照/錄像/測(cè)量功能 | ||||
探針座 | 種類 | DR/L-200m/V和DR/L-100m/V 和 DR/L-40m | |||
X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | ||||
機(jī)械精度 | 0.35um/0.7um/2um | ||||
夾具 | 漏電精度 | 10pA/100fA | |||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚(yú)夾/同軸/叁軸接口/SMA /裸線等 | ||||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率 | |||
電力需求 | 220V/50HZ | ||||
我們是一家致力于提供半導(dǎo)體和自動(dòng)化設(shè)備綜合解決方案的自主創(chuàng)新型技術(shù)企業(yè)。我們集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)于一體，不僅擁有*的生產(chǎn)設(shè)備、加工工藝及品質(zhì)檢測(cè)體系，也擁有涉及材料、物理、化學(xué)、微電子、機(jī)械等專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)。現(xiàn)在主營(yíng)的產(chǎn)品有：4寸、6寸、8寸、12寸手動(dòng)探針臺(tái)、高壓大功率探針臺(tái)、真空高低溫探針臺(tái)，半自動(dòng)探針臺(tái)，全自動(dòng)探針臺(tái)等，可以完成I-V/C-V測(cè)試，脈沖I-V測(cè)試，RF/mmW測(cè)試，高壓、大電流測(cè)試，MEMS、光電器件等測(cè)試。專業(yè)的設(shè)計(jì)人員也可以按客戶的要求量身定制，如搭配光電流掃描成像或拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像系統(tǒng)、太陽(yáng)能發(fā)生器、多普勒測(cè)試儀、積分球等，在常規(guī)探針臺(tái)功能上進(jìn)行延伸拓展來(lái)滿足不同客戶的測(cè)試需求。