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5911DD4-熱式氣體流量計(jì)
  • 5911DD4-熱式氣體流量計(jì)
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貨物所在地:江蘇無錫市

更新時(shí)間:2025-03-26 21:00:08

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熱式氣體流量計(jì)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括:電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器

5911DD4熱式氣體流量計(jì)主要技術(shù)指標(biāo)

1

量程范圍

 ?。?~5,10,20,30,50,100,200,300,500 )SCCM

 ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000) SLM

2

  準(zhǔn)確度

  ±1%F.S ±0.5%F.S

3

  線性

  ±0.5~1.5%F.S

4

  重復(fù)精度

  ±0.2%F.S

5

  響應(yīng)時(shí)間

  電特性:10sec 氣特性:(1~4)sec

6

  工作壓差

  0.1~0.5MPa

7

  耐壓

  3MPa

8

工作環(huán)境溫度

  0~70℃

9

  數(shù)字量

  RS485 MODBUS協(xié)議

10

  模擬量

  DC 0~5V ,4~20mA 可選

11

  供電

DC +15V/24V 可選,流量計(jì)<400mA,控制器<600mA

12

  電氣連接

  DB15

5911DD4熱式氣體流量計(jì)優(yōu)勢(shì):

其大的優(yōu)點(diǎn)是能夠直接地測(cè)量質(zhì)量流量,而其他的儀器只能測(cè)量體積流量V錐流量計(jì)是一種的差壓式流量計(jì)量裝置,它以的邊壁逐步收縮節(jié)流方式,一改傳統(tǒng)節(jié)流裝置的幾乎所有的缺點(diǎn),是差壓流量計(jì)性成果St是雷諾數(shù)的函數(shù),St=f(1/Re)質(zhì)量流量控制器的原理是什么?質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成當(dāng)了解了以上三個(gè)在選擇質(zhì)量流量控制器需要關(guān)注的地方中會(huì)明白,好的質(zhì)量流量控制器不是單單只能進(jìn)行穩(wěn)定工作就可以的而是在穩(wěn)定工作的同時(shí)還能將事情做到接近完善的程度,只有這樣才能減小麻煩的發(fā)生率與出現(xiàn)情況的次數(shù),也才能讓客戶進(jìn)行平穩(wěn)的收益與正常的工作流程不同類型的氣體用來沉積一個(gè)新的玻璃層如空氣、煤氣、氨氣等


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