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中級(jí)會(huì)員 | 第3年

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h-square/單晶圓展示器-旋轉(zhuǎn)WPR特點(diǎn)？

時(shí)間：2023/12/5閱讀：484
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產(chǎn)品

自動(dòng)化晶圓處理 > 檢查工具 > WPR-單晶圓展示器-旋轉(zhuǎn)

描述

自動(dòng)單晶圓展示器設(shè)計(jì)用于將晶圓呈現(xiàn)給操作員以進(jìn)行檢查或從晶圓盒中取出晶圓以及用于宏觀檢查應(yīng)用。WPR 可用于晶圓翻轉(zhuǎn)（反轉(zhuǎn)）晶圓 180°，用于背面應(yīng)用。專為 ISO 等級(jí) 3（FS209E 等級(jí) 1）設(shè)計(jì)；抗靜電結(jié)構(gòu)。



WPR 的特點(diǎn)：


旋轉(zhuǎn)升降葉片允許從一個(gè)操作員位置進(jìn)行完整的正面和背面晶圓檢查。

規(guī)格

晶圓尺寸76, 100, 150, 200

電源要求220VAC 至 24VDC   3 安培 電源單獨(dú)出售

產(chǎn)品尺寸16"寬 x 14"長(zhǎng) x 21"高

重量50磅

附加信息

裝運(yùn)重量220磅

裝運(yùn)尺寸15 × 12 × 20 英寸

WPR 可用于晶圓翻轉(zhuǎn)（反轉(zhuǎn)）晶圓 180°，用于背面應(yīng)用。專為 ISO 等級(jí) 3（FS209E 等級(jí) 1）設(shè)計(jì)；抗靜電結(jié)構(gòu)


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