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h-square晶圓傳輸機批量-AHWT特征?

時間:2023/12/5閱讀:468
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自動化晶圓處理 > 晶圓搬運 > 晶圓傳輸機批量-AHWT

產(chǎn)品

描述

桌上型自動批量晶圓轉(zhuǎn)移工具。AHWT兼容高或低盒型運輸料盒、加工料盒或金屬料盒。料盒感測器、等速控制和傳輸臂推力監(jiān)控使得AHWT非常可靠并且安全,是手動HWT系列的升級版。該 工 具 具 有 電 流 傳 感 功 能 以 調(diào) 解 推力,當推力超過限制值時,可以調(diào)節(jié)縮回手臂。



規(guī)格

晶圓尺寸76, 100, 150, 200mm

電源要求220VAC 至 24VDC 3 安培 電源單獨出售

吞吐量每小時 100 盒

重量35磅


附加信息

裝運尺寸:19 × 9.5 × 12 英寸



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