池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司
中級會(huì)員 | 第3年

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荏原真空泵的原理

時(shí)間:2025/9/5閱讀:235
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荏原真空泵是荏原制作所旗下的真空獲得設(shè)備,在半導(dǎo)體制造、醫(yī)療、研究開發(fā)等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛7。以下是關(guān)于它的詳細(xì)介紹:

工作原理2

  • 多級壓縮原理:泵由多級轉(zhuǎn)子構(gòu)成,每級轉(zhuǎn)子由兩個(gè)反向旋轉(zhuǎn)的螺桿轉(zhuǎn)子組成。氣體從吸入口進(jìn)入泵腔后,在轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)作用下,被不斷壓縮并向排出口方向輸送,隨著氣體在各級泵腔中依次被壓縮,其壓力逐漸升高,最終實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境的建立和氣體的排出。

  • 螺桿轉(zhuǎn)子原理:螺桿轉(zhuǎn)子是泵的核心部件,其設(shè)計(jì)使得氣體在泵腔內(nèi)能夠高效地進(jìn)行壓縮和傳輸。轉(zhuǎn)子之間的精密配合和相互嚙合,確保了氣體在壓縮過程中的密封性和連續(xù)性,從而提高了泵的抽氣效率和真空度。轉(zhuǎn)子的同步旋轉(zhuǎn)通過高精度的齒輪傳動(dòng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn),保證了運(yùn)轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性和可靠性。

  • 溫度控制原理:泵在運(yùn)行過程中會(huì)產(chǎn)生大量的熱量,為了保證泵的性能和延長使用壽命,采用了先進(jìn)的溫度控制技術(shù)。通過在泵體上設(shè)置冷卻夾套,利用冷卻水的循環(huán)帶走熱量,將泵的溫度控制在設(shè)定范圍內(nèi)。同時(shí),還可以通過調(diào)節(jié)冷卻水的流量和溫度,實(shí)現(xiàn)對泵溫的精確控制,以適應(yīng)不同的工藝要求。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 節(jié)能性好:搭載荏原的節(jié)能技術(shù),如集成變頻調(diào)速系統(tǒng),根據(jù)負(fù)載動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)電機(jī)功率,能耗降低 20% 以上,運(yùn)行成本低19

  • 小型輕量化:采用優(yōu)化模塊設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了小型化和輕量化,占地面積小,重量輕,節(jié)省安裝空間,便于搬運(yùn)和安裝15。

  • 耐腐蝕性能強(qiáng):標(biāo)準(zhǔn)配置耐腐蝕材料,部分機(jī)型還可選配更高級的耐腐蝕性配置,如鍍鎳或 PTFE 涂層等,可耐受 Cl?、H?S 等酸性氣體和有機(jī)溶劑,適用于各種腐蝕性氣體環(huán)境19

  • 抽氣速率可變:一些型號的真空泵具備抽氣速率可變功能,能夠根據(jù)不同的工藝需求靈活調(diào)整抽氣速度,提高工藝適應(yīng)性1

  • 通信功能強(qiáng)大:搭載高性能通信功能,可實(shí)現(xiàn)與其他設(shè)備的聯(lián)網(wǎng)控制和數(shù)據(jù)傳輸,便于遠(yuǎn)程監(jiān)控、故障診斷和維護(hù),提高生產(chǎn)過程的自動(dòng)化程度和管理效率1。

  • 控制管理先進(jìn):具有數(shù)據(jù)保存功能、警報(bào)履歷備份等先進(jìn)的控制管理方式,方便用戶對泵的運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行記錄和分析,及時(shí)發(fā)現(xiàn)和解決潛在問題1


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