池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第3年

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當(dāng)前位置:池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司>>BROOKS 布魯克斯>> SLA-5853新品 ROOKS 可重復(fù)性控制儀器儀表 SLA5853

新品 ROOKS 可重復(fù)性控制儀器儀表 SLA5853

參   考   價(jià): 5762

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)SLA-5853

品       牌 BROOKS/布魯克斯

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

更新時(shí)間:2024-07-17 10:41:21瀏覽次數(shù):269次

聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)
電動(dòng)機(jī)功率 100V2AkW 外形尺寸 中等的mm
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,農(nóng)林牧漁,電子/電池,電氣,綜合 序列號(hào) 176.0755.4908.
新品 ROOKS 可重復(fù)性控制儀器儀表 SLA5853
長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性:0.2%滿量程/年或更小
高精準(zhǔn)度
額定流量范圍廣 - 0.003 至 2500 slpm
高壓額定值 - 高達(dá) 1500 psi/100 bar(可選:4500 psi/310 bar)
可配置的多氣體/多范圍功能

新品 ROOKS 可重復(fù)性控制儀器儀表 SLA5853 

新品 ROOKS 可重復(fù)性控制儀器儀表 SLA5853 

一臺(tái)設(shè)備支持多種氣體,最大限度地提高工藝靈活性和生產(chǎn)率。 GF40 系列彈性密封質(zhì)量流量控制器/儀表采用 Brooks Instrument 的 MultiFlo™ 技術(shù),非常適合使用多種氣體、經(jīng)常更改氣體類型或保持氣體測(cè)量和控制精度的應(yīng)用,是系統(tǒng)、過程和設(shè)施的理想選擇。需要重新確定范圍。憑借的流量測(cè)量和控制性能,將您的過程靈活性提升到一個(gè)新的水平。

利用 MultiFlo™ 技術(shù)最大限度地延長(zhǎng)工藝生產(chǎn)正常運(yùn)行時(shí)間,該技術(shù)支持新的氣體校準(zhǔn)和滿量程范圍,而無需從氣體管線中拆除質(zhì)量流量控制器 (MFC)。

簡(jiǎn)單易懂的 MultiFlo™ 編程:60 秒內(nèi)即可在不同氣體選擇之間切換

減少 OEM 和大型最終用戶擁有的具有固定氣體類型和流量范圍的控制器庫(kù)存

通過基于全球標(biāo)準(zhǔn)的高性能測(cè)量系統(tǒng)和校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)的過程氣體精度

耐腐蝕傳感器提供傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,確保最大產(chǎn)量和吞吐量

用戶可訪問的服務(wù)端口簡(jiǎn)化了故障排除和診斷

彈性體密封件能夠以合理的成本在各種應(yīng)用中提供靈活的性能

支持多種協(xié)議通信接口集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中

利用 MultiFlo™ 技術(shù)最大限度地延長(zhǎng)工藝生產(chǎn)正常運(yùn)行時(shí)間,該技術(shù)支持新的氣體校準(zhǔn)和滿量程范圍,而無需從氣體管線中拆除質(zhì)量流量控制器 (MFC)。

簡(jiǎn)單易懂的 MultiFlo™ 編程:60 秒內(nèi)即可在不同氣體選擇之間切換

減少 OEM 和大型最終用戶擁有的具有固定氣體類型和流量范圍的控制器庫(kù)存

通過基于全球標(biāo)準(zhǔn)的高性能測(cè)量系統(tǒng)和校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)的過程氣體精度

耐腐蝕傳感器提供傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,確保最大產(chǎn)量和吞吐量

用戶可訪問的服務(wù)端口簡(jiǎn)化了故障排除和診斷

彈性體密封件能夠以合理的成本在各種應(yīng)用中提供靈活的性能

支持多種協(xié)議通信接口集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中

流量范圍(滿量程容量)3 sccm - 50 slpm

準(zhǔn)確性

SP 35-100% 的 1%,F(xiàn)S 2-35% 的 0.35%

再現(xiàn)性

0.20% SP

線性度

±0.5% FS(包含在精度內(nèi))

響應(yīng)時(shí)間

常閉閥:300 毫秒 -<1 秒

多氣體多范圍MultiFlo™ 可用

控制范圍

2-100%

垃圾箱數(shù)量

10 個(gè)垃圾箱

閥門關(guān)閉

當(dāng)設(shè)定點(diǎn)低于滿量程的 1.5% 時(shí)關(guān)閉閥門

零穩(wěn)定性每年 <±0.5% FS

壓力系數(shù)

0.03% 每 psi (0-50psi N2 )








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