日本MEG對齊單元 返回列表頁

深圳納加霍里科技專業(yè)代理銷售日本MEG對齊單元X9113A-C 產(chǎn)品特點如下：

日本MEG對齊單元X9113A-C用于光學(xué)或機械系統(tǒng)的精密對齊（Alignment），常見于半導(dǎo)體設(shè)備、激光加工系統(tǒng)、高精度檢測儀器等需要微米級定位的場景。

精密儀器制造商，專注于光學(xué)、電子測量設(shè)備。

小型緩沖類型主體□30mm濃縮緩沖必要的功能，緊湊節(jié)省空間，高速運行，備有帶馬達(dá)型號、外部驅(qū)動型號，此外，還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等

備有本體安裝部形狀、指狀物形狀、驅(qū)動方式等多種種類。

小型類型的基本機構(gòu)原封不動，實體從上側(cè)用M3螺絲能安裝的模型，小型A型還備有可實現(xiàn)閉環(huán)控制的α STEP馬達(dá)型號。

這是一種小型類型，有多年的經(jīng)驗，本體安裝，利用本體背面的M2抽頭，備有帶M2螺絲5相步進馬達(dá)和外部驅(qū)動的連接類型。

小型A型的基本機構(gòu)是原封不動地從本體側(cè)面拿出鰭片的模型，主體上面沒有角孔，小型AP類型還準(zhǔn)備了可實現(xiàn)閉環(huán)控制的α STEP馬達(dá)型號，主體安裝從主體上面用M3螺絲擰緊。

核心功能

高精度調(diào)整：通過精密機械結(jié)構(gòu)或壓電驅(qū)動實現(xiàn)亞微米級（可能達(dá)0.1μm以下）的位置校準(zhǔn)。

多軸控制：可能支持X/Y/Z三軸或傾斜（θx/θy）方向的獨立調(diào)整。

集成傳感器：部分型號內(nèi)置位移傳感器或光學(xué)編碼器，實時反饋位置信息。

兼容性：適配多種光學(xué)元件（透鏡、反射鏡）或機械組件。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造：光刻機組件對齊。

激光加工：光束路徑校準(zhǔn)。

科研儀器：干涉儀、顯微鏡的樣品臺定位。

產(chǎn)品特點

剛性設(shè)計：鋁合金或不銹鋼材質(zhì)，確保穩(wěn)定性。

防震設(shè)計：減少環(huán)境振動影響。

模塊化：可與其他MEG單元組合使用（如旋轉(zhuǎn)臺X系列）

技術(shù)參數(shù)

規(guī)格

公司代理和銷售優(yōu)勢品牌