日本MEG對齊單元 返回列表頁

深圳納加霍里科技專業(yè)代理銷售日本MEG對齊單元X9113-M 產(chǎn)品特點如下：

日本MEG對齊單元X9113-M 是一款高精度光學(xué)對齊單元（Alignment Unit），主要用于半導(dǎo)體設(shè)備、液晶面板制造、精密測量系統(tǒng)等工業(yè)領(lǐng)域，確保光學(xué)元件或機(jī)械部件的精準(zhǔn)定位與校準(zhǔn)。

小型緩沖類型主體□30mm濃縮緩沖必要的功能，緊湊節(jié)省空間，高速運(yùn)行，備有帶馬達(dá)型號、外部驅(qū)動型號，此外，還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等。

備有本體安裝部形狀、指狀物形狀、驅(qū)動方式等多種種類。

小型類型的基本機(jī)構(gòu)原封不動，實體從上側(cè)用M3螺絲能安裝的模型，小型A型還備有可實現(xiàn)閉環(huán)控制的α STEP馬達(dá)型號。

在狹小空間也能發(fā)揮高精度定位的定位單元和開發(fā)的小型對準(zhǔn)單元，控制身體寬度的苦心設(shè)計，即使在小沖程輸送的狹小空間內(nèi)也能實現(xiàn)精確的工件定位。

小型指狀物配置于機(jī)身頂部，本體安裝，利用本體背面的M2抽頭。

小型A型I指狀物配置在機(jī)身上面，主體安裝從主體上面用M3螺絲擰緊，還準(zhǔn)備了實現(xiàn)閉環(huán)的STEP 。

小型AP型I被配置在實體側(cè)面，實體安裝從實體上面用M3螺絲擰緊，還準(zhǔn)備了可實現(xiàn)閉環(huán)的 STEP馬達(dá)。

核心特點

1.高精度調(diào)整

采用精密機(jī)械結(jié)構(gòu)，支持微米級（μm）甚至納米級（nm）的位置調(diào)整，適用于對光路或機(jī)械組件的高靈敏度對齊需求。

2.多自由度調(diào)節(jié)

通常配備XYZ三軸線性平移臺，部分型號可能集成旋轉(zhuǎn)（θx/θy/θz）調(diào)節(jié)功能，滿足復(fù)雜對齊場景。

3.穩(wěn)定性與剛性

材料采用高強(qiáng)度鋁合金或不銹鋼，結(jié)構(gòu)設(shè)計優(yōu)化，確保長時間使用無漂移，抗振動干擾。

4.兼容性

可適配多種光學(xué)元件（透鏡、反射鏡、激光器等）或傳感器，接口設(shè)計靈活，便于集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中。

5.環(huán)境適應(yīng)性

部分型號支持真空或潔凈室環(huán)境，適用于半導(dǎo)體和FPD（平板顯示）制造工藝。

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體設(shè)備：光刻機(jī)、檢測設(shè)備的鏡頭校準(zhǔn)。

激光加工：激光束路徑的精確對準(zhǔn)。

光學(xué)實驗：科研級光學(xué)平臺的組件調(diào)整。

自動化檢測：CCD相機(jī)、傳感器的位置校準(zhǔn)。

選型與規(guī)格

行程范圍：XYZ軸典型行程±5mm~±10mm（可定制）。

分辨率：手動調(diào)節(jié)可達(dá)0.1μm，電動驅(qū)動型號精度更高。

負(fù)載能力：約1~5kg（具體取決于設(shè)計）。

驅(qū)動方式：手動微調(diào)旋鈕、電動馬達(dá)（可選）。

規(guī)格

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