日本MEG對(duì)齊單元 返回列表頁(yè)

深圳納加霍里科技專業(yè)代理銷售日本MEG對(duì)齊單元X9113-C 產(chǎn)品特點(diǎn)如下：

日本MEG對(duì)齊單元X9113-C用于精密機(jī)械/光學(xué)設(shè)備的定位校準(zhǔn)（如半導(dǎo)體設(shè)備、顯微鏡等），具備高精度位移控制（微米/納米級(jí)）或角度調(diào)整功能。

特長(zhǎng)小型鉚接型機(jī)身口30mm凝聚鉚接所需的功能，緊湊節(jié)省空間，高速運(yùn)行，備有帶馬達(dá)型號(hào)、外部驅(qū)動(dòng)型號(hào)，此外，還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等。

扭力類型長(zhǎng)沖程可對(duì)應(yīng)廣泛用途，備有帶馬達(dá)型號(hào)、外部驅(qū)動(dòng)型號(hào)，小型緩沖類型主體□30mm濃縮緩沖必要的功能，緊湊節(jié)省空間，高速運(yùn)行，備有帶馬達(dá)型號(hào)、外部驅(qū)動(dòng)型號(hào)，此外，還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等，緩沖類型長(zhǎng)沖程，適用于各種用途，備有帶馬達(dá)型號(hào)、外部驅(qū)動(dòng)型號(hào)。

備有本體安裝部形狀、指狀物形狀、驅(qū)動(dòng)方式等多種種類，提供多種驅(qū)動(dòng)方式可供選擇。

不能改變指狀物的數(shù)量，沖程可以根據(jù)脈沖數(shù)而改變，（帶電機(jī)的型號(hào)）5速度可通過(guò)運(yùn)行頻率、加減速時(shí)間的設(shè)定進(jìn)行變更（馬達(dá)型號(hào)）。

在狹小空間也能發(fā)揮高精度定位的定位單元和開發(fā)的小型對(duì)準(zhǔn)單元，控制身體寬度的苦心設(shè)計(jì)，即使在小沖程輸送的狹小空間內(nèi)也能實(shí)現(xiàn)精確的工件定位。

小型指狀物配置于機(jī)身頂部，本體安裝，利用本體背面的M2抽頭。

小型A型I指狀物配置在機(jī)身上面，主體安裝從主體上面用M3螺絲擰緊，還準(zhǔn)備了實(shí)現(xiàn)閉環(huán)的STEP 。

小型AP型I被配置在實(shí)體側(cè)面，實(shí)體安裝從實(shí)體上面用M3螺絲擰緊，還準(zhǔn)備了可實(shí)現(xiàn)閉環(huán)的 STEP馬達(dá)。

以小型高精度重復(fù)精度高的凸輪為基礎(chǔ)，鉚釘采用無(wú)背襯機(jī)構(gòu)，緩沖器具有彈簧中央緩沖器功能，可進(jìn)行高精度定位，輕巧、不別扭的工作通過(guò)采用無(wú)限軌道線性導(dǎo)軌，實(shí)現(xiàn)輕快、不別扭的工作，具有良好的高速響應(yīng)能力，高速定位利用步進(jìn)電機(jī)和小慣性凸輪機(jī)構(gòu)，定位響應(yīng)速度可達(dá)0.1sec（全行程）

小而長(zhǎng)壽命簡(jiǎn)單且不給鰭片驅(qū)動(dòng)部過(guò)載的結(jié)構(gòu)，因此具有出色的耐久性，是可以長(zhǎng)期使用的高經(jīng)濟(jì)性對(duì)準(zhǔn)單元。

通過(guò)無(wú)沖擊動(dòng)作步進(jìn)的加減速控制，即使高速也能實(shí)現(xiàn)柔和的定位，吹氣端口本體設(shè)有M5端口孔，通過(guò)吹干空氣，防止異物從本體上部角孔侵入。

對(duì)齊單元X9113-C介紹

基本功能

用于精密機(jī)械/光學(xué)設(shè)備的定位校準(zhǔn)（如半導(dǎo)體設(shè)備、顯微鏡等）。

具備高精度位移控制（微米/納米級(jí)）或角度調(diào)整功能。

技術(shù)參數(shù)

精度：±0.1 μm 或更高（取決于應(yīng)用場(chǎng)景）。

行程范圍：線性或旋轉(zhuǎn)式，具體數(shù)值需確認(rèn)。

驅(qū)動(dòng)方式：壓電陶瓷、伺服電機(jī)或手動(dòng)微調(diào)。

兼容性：可能支持標(biāo)準(zhǔn)接口（如ISO法蘭、螺紋孔位）。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造（光刻機(jī)晶圓對(duì)準(zhǔn)）。

光學(xué)儀器（激光路徑校準(zhǔn)）。

自動(dòng)化檢測(cè)設(shè)備（CCD相機(jī)定位）。

特點(diǎn)

高剛性材料（如陶瓷或不銹鋼）以減少熱變形。

可選配傳感器反饋（閉環(huán)控制）。

規(guī)格

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