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工業(yè)及半導體行業(yè)的三維液壓顯微機械手

時間:2024/4/3閱讀:538
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MHW-3型


三維液壓顯微機械手

用于膜片夾的成熟液壓顯微機械手。

簡介

這是我們第一款為貼片夾緊而開發(fā)的液壓顯微機械手。 它使用 5:1 墨盒,通過使用液壓液壓類型實現(xiàn)精細運動并減少漂移,液壓類型由于溫度變化而具有比液壓系統(tǒng)更低的膨脹率。 用于微動的驅(qū)動單元和粗機械手配備了大而堅固的類型,球形接頭也是一種強大的類型。 它基于安裝在雙適配器或隔離臺上,并且可以牢固地設置,例如移除桿上的所有連接。 控制單元采用帶大手柄的滾筒式,可實現(xiàn)精細操作和線性位置的高再現(xiàn)性。 它在設計時考慮了良好的驅(qū)動和長期穩(wěn)定性。

產(chǎn)品介紹

* 要將本儀器安裝在顯微鏡上,需要一個適合顯微鏡的單獨安裝適配器。

* 主體可直接安裝在隔離臺上。

* 如果您使用 GJ-12 薄磁支架(單獨出售),您可以將其牢固地固定在隔離臺上的任何位置。

* 用于貼片放大器的適配器 AP-13-2 可以連接到連接到機械手的球形接頭 B-9 上。

* 通過將可選的一維液壓顯微機械手 MHW-4 連接到機械手的球形接頭 B-9 上,可以進行四維遠程驅(qū)動。


性能

附屬品球形接頭 B-9
電極支架 H-12
扳手
行駛距離粗大運動X、Y、Z 30 mm 各旋轉(zhuǎn) 1
圈手柄約 4 mm
震顫X、Y、Z 各 2mm,手柄
1 旋轉(zhuǎn) 50μm 最小
刻度 0.2μm
尺寸和重量操作單元W115 × D115 × H132mm、1.6kg
驅(qū)動單元W155 × D155 × H100mm、900g
液壓油管長度0.9米

特點



工業(yè)及半導體行業(yè)的三維液壓顯微機械手是主機和標準配件。
工業(yè)及半導體行業(yè)的三維液壓顯微機械手是可以連接的主要配件。
工業(yè)及半導體行業(yè)的三維液壓顯微機械手表示安裝適配器的類型。




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